繼二分法之后，置換檢測法是螺桿真空泵制造商應該與大家一起知道的另一種真空系統故障檢測方法。
先前已知的二分法檢測方法用于診斷真空設備中的串聯型故障。除串聯故障類型外，真空系統中還有另一種基本類型，稱為并聯型。與串聯型相比，并聯型可以簡單地理解為真空系統中特定獨立部件的可能故障，例如真空泵本身、真空室和其他部件產生的問題，例如密封故障、冷卻不良、泵油氧化等。
這種并聯故障可以用替換法檢測。顧名思義，替換方法是用絕對可靠的質量零件替換可能有故障的零件。一旦設備在更換后正常工作，故障自然會出現在更換的零件上。在更換過程中，應逐個進行測試，并注意更換順序。一般來說，先易后難，先簡單后復雜，先明后暗，最大的問題應該放在前面。此外，在更換零件的過程中，更換的零件應為密封絕對可靠的標準法蘭板、測試合格的閥門、真空計等零件。因此，如果要采用替換測試方法，通常需要有相應尺寸的合格替換零件。
對于一些具有高真空度或超高真空系統的真空系統，還有另一種可能性，即系統部件本身沒有問題，但是由于材料污染、空氣釋放等原因，系統的真空度或抽氣速率不能滿足要求，因此有必要注意清潔、烘烤、空氣去除等，而不是部件故障的問題。這些需要通過優化過程程序來解決。
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