一、矩形超高真空插板閥概述

此系列閥門為氣動驅動方式，在結構上設計合理，外形上美觀，并具有動作平穩、沖擊振動小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優點，是半導體行業中真空設備自動化首選閥門之一。閥門是以壓縮空氣推動氣缸為動力，通過傳動桿推（拉）動連桿機構，帶著驅動體沿軸向運動，驅動體通過擺桿與閥板連接并帶動閥板開啟及關閉動作。閥門的介質為空氣及非腐蝕性氣體。

二、矩形超高真空插板閥特點

采用多擺桿均勻分布支撐結構，閥板受力均勻，閥門開啟沖擊振動小，噪聲低；

四滾輪支撐運動機構，動作平穩，運動噪聲小；

動密封采用波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，密封可靠；

閥體采用不銹鋼內部焊接，漏率小；

在更小的體積上，一次性通過更多的工件，合理使用了空間。