單級旋片真空泵只有一工作室。該泵主要由定子、旋片和轉子組成。轉子偏心安裝在泵腔內，轉子槽內安裝有雙個旋轉板，由于彈簧彈力，轉子槽靠近氣缸壁(旋轉后旋片的離心力也是如此)。轉子和轉子把定子腔分成雙部分：吸入和排出。

　　當轉子在定子腔內旋轉時，進氣口的容積逐漸膨脹，吸入氣體，排氣口的'一'側的容積逐漸減小，以壓縮吸入的氣體，并將其從排氣門排出。

　　排氣閥浸入油中，以防止空氣流入泵中。真空泵油通過油孔和排氣閥進入泵腔，使得泵腔內的所有運動表面均由油覆蓋，并形成吸入腔與排氣腔之間的密封。

　　為了提高真空泵的真空極限，除了提高泵體、轉子和轉子的加工精度，最大限度地減小裝配間隙和有害空間外，最有效的方法是將雙臺單級泵串聯成一臺雙級泵。

　　水泵由雙個工作室組成。雙個腔室串聯在一起，以相同的速度在同一方向旋轉。A室是B室的前級，A室是低真空級，B室是高真空級。吸入的氣體通過高真空級(室B)進入前級，并通過排氣閥從泵中排出。前級(A)和單級泵一型，油隨時進入泵腔，而高真空級(B)在工作開始時只有少量油，工作一期后，沒有油進入泵腔。當泵開端事情，且吸入氣體的壓力較高時(例如從大氣壓力開端抽氣)，氣體經B室收縮，壓力急增，則被壓縮的氣體的一部分直接從輔助排氣閥(1)排出，另一部分則經由前級排出。

　　當真空泵工作一段時候后，B室吸入的氣體壓力較低時，雖經B室的收縮，壓力也達不到一個大氣壓以上，排不開輔佐排氣閥(1)，則吸入的氣體全數進入前級A室，經A室的繼續壓縮，由排氣閥(3)排出。

　　真空泵工作一段時間后，由于高真空級進氣的壓力大大降低，雙級泵的出口壓力也很小，所以B室的進、出口壓差也很小，壓縮氣體回流的次數也相應減少;同時，前級A室不斷將后級泵中的蒸發油分子抽出，降低了油蒸氣的分壓，使雙級泵的油污比單級泵小，極限真空度將大大提高。國前的雙級旋片真空泵的極限壓力可10-2pa，外洋有的泵可達到10-3Pa。