現代消毒滅菌設備多種多樣，從尋常百姓家的廚房消毒柜，到專業研究所的專門滅菌消毒設備。各種各樣的滅菌設備采用了多樣的滅菌方式和原理來配合不同的場合要求和對于消毒滅菌的要求。

而在各種各樣的滅菌設備中，常見的利用真空應用來幫助消毒滅菌的設備，如“脈動真空消毒柜”以及“等離子滅菌器”。這兩種滅菌設備各有特點又各有其局限性，脈動真空消毒利用高壓蒸汽與真空對細菌微生物進行有效的殺滅，然而對一些熱敏的，不耐潮濕和高溫的器材則就常常會采用過氧化氫等離子滅菌法，那么真空滅菌柜應該選用哪種真空泵好呢？

縱觀滅菌技術發展史我們不難發現，現代滅菌的兩個重要元素：蒸汽和真空，

高壓蒸汽仍是目前最高效的滅菌方法，而真空則能利于蒸汽更好的穿透被消毒物品，使滅菌消毒的效果和速度大幅提升！

真空泵應用：

整個脈動滅菌柜在運作過程中的真空應用主要分為兩部分：

第一部分為脈動預真空過程，真空泵會在滅菌前多次抽取滅菌室內的空氣再充入蒸汽再抽空多次重復該過程，一般需要在滅菌前抽氣3-6次，使腔體內的真空度達到-0.08~-0.09Mpa

第二部分為真空抽濕干燥過程，該過程是在高壓蒸汽滅菌完成后將滅菌室內的高溫蒸汽抽除保證滅菌后的物品干燥潔凈。

根據各種脈動真空滅菌柜的實際腔體尺寸不同，可以使用阿特拉斯的雙級油潤滑旋片泵GVD系列以及干式爪泵DZS系列，由于整個滅菌過程中腔體中充斥著大量的高壓水蒸氣，所以在滅菌腔體內的氣體被抽出到達真空泵前需要裝配一套冷熱分離裝置用于分離水蒸氣，分離的水可以再回到蒸汽發生器中。

過氧化氫等離子滅菌器的真空應用主要用于滅菌前的預真空階段和滅菌過程中的幫助過氧化氫真空升華的反復抽空應用。所需的極限真空度一般為0.5mbar即可。可用Atlas Copco的GVD系列雙級油潤滑旋片泵進行配套。