羅茨真空泵(簡稱羅茨泵)是一種容積可變的回轉(zhuǎn)真空泵。它是從羅茨鼓風(fēng)機演變而來的。根據(jù)羅茨真空泵工作范圍的不同，分為直接排氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵(也稱機械增壓泵)和多級高真空羅茨泵。一般來說，羅茨泵具有以下特點：

　　1、在較寬的壓強范圍內(nèi)有較大的抽速;起動快，能立即工作。

　　2、對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感。

　　3、轉(zhuǎn)子不必潤滑，泵腔內(nèi)無油;振動小，轉(zhuǎn)子動平衡條件較好，沒有排氣閥。

　　4、驅(qū)動功率小，機械摩擦損失小。

　　5、結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。

　　6、運轉(zhuǎn)維護費用低。

　　因此，羅茨泵廣泛應(yīng)用于冶金、石化、造紙、食品和電子行業(yè)。羅茨真空泵最大的優(yōu)點是在較低的入口壓力下具有較高的抽氣率，但不能單獨使用。必須串聯(lián)一個后備真空泵，將被抽系統(tǒng)內(nèi)的壓力抽走。通過備用真空泵到達根部。羅茨真空泵只有在真空泵允許進口壓力的情況下才能開始工作，一般羅茨真空泵不能在高壓下工作，否則會過載過熱而損壞，因此應(yīng)合理選擇前級時使用羅茨真空泵真空泵，安裝必要的防護設(shè)備。

　　羅茨泵工作原理：

　　羅茨炸彈的結(jié)構(gòu)見如圖。在泵腔內(nèi)，有兩個“8”字形轉(zhuǎn)子安裝在一對相互垂直的平行軸上，一對齒輪比為1的齒輪驅(qū)動彼此相對的同步旋轉(zhuǎn)運動。轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間有一定的間隙，可以實現(xiàn)高速運轉(zhuǎn)。由于羅茨泵是無內(nèi)壓縮的真空泵，壓縮比通常很低，所以高、中真空泵需要前置泵。羅茨泵的最終真空度不僅取決于泵本身的結(jié)構(gòu)和制造精度，還取決于備用泵的最終真空度。為了提高泵的最終真空度，可以串聯(lián)使用羅茨泵。

　　羅茨泵的工作原理類似于羅茨鼓風(fēng)機。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽吸的氣體從進氣口吸入轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0，然后通過出氣口排出。由于吸入后空間v0完全封閉，泵腔內(nèi)的氣體沒有壓縮或膨脹。但是，當(dāng)轉(zhuǎn)子上部旋轉(zhuǎn)越過排氣口邊緣，空間v0與排氣側(cè)連通時，由于排氣側(cè)的氣體壓力較高，一部分氣體沖向空間v0 ，導(dǎo)致氣體壓力突然升高。隨著轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，氣體被排出泵外。

　　如圖是羅茨泵轉(zhuǎn)子從0到180的抽氣過程。在0位置(圖中a)，下轉(zhuǎn)子被泵入口處的氣體體積v0密封。通過旋轉(zhuǎn)到45位置(圖中b)，腔體連接到排氣口。由于排氣側(cè)的高壓，一部分氣體會回流。當(dāng)旋轉(zhuǎn)到90位置(圖中c)時，封閉在下轉(zhuǎn)子中的氣體將與反沖洗氣體一起從泵中排出。此時，上轉(zhuǎn)子還從泵入口密封了一定體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn)135(圖中d)時，上轉(zhuǎn)子封閉的氣體與排氣口相通，重復(fù)上述過程。 180位置(圖e)與0位置相同。主轉(zhuǎn)子軸旋轉(zhuǎn)一次，共排出四體積的氣體。