1、故障現象：泵的抽氣量不夠
產生原因;
(1)羅茨真空泵的轉速不夠;(2)密封不嚴，在進氣管路的連接處或軸封處漏氣;(3)泵的轉子與轉子、轉子外圓與泵殼，轉子端面與端蓋周的間隙過大，氣體返流量增大;(4)環境溫度或冷卻水的溫度過高。
排除方法：
(1)如泵的轉速不夠，且抽氣量是與泵的轉速成正比，則泵的抽氣量就會下降。這有兩種情況;一種情況是泵的轉速未配備好，也就是皮帶輪的直徑不合適，可更換皮帶輪，改變皮帶輪的直徑;另一種情況可能是皮帶安裝不當、未張緊，皮帶打滑而降低了轉速，這可調節電機位置，使皮帶張到一定緊度。
(2)查明何處漏氣，如是連接法蘭處漏氣，則可能是由于連接螺釘松動，墊圈壓破變質或者是法蘭面加工不平;如是在軸封處漏氣，則有可能是密封皮碗未裝正或破裂，此時則更換皮碗并裝正;若是填料密封的，可將扎進的填料掏出，更換新的，但填料的接口必須是斜面而互相搭接服貼，第一圈的接口必須與第二圈的接口錯開，不能在同一位置上。
(3)若轉子與轉子型面間的間隙不均勻，在轉圈中處間隙大，另一處間隙小，這由于在裝配時同步齒輪的嚙合狀況未調整好，則這對同步齒輪之一的齒輪作輪轂固定，另一個齒輪的輪轂做成可以調節的，因為兩轉子的外型是共軛曲面，要互相正常嚙合。與此同時，外端的傳動齒輪(同步齒輪)也要處于正常嚙合狀態，這樣輻子才能正常傳動。否則，即使能轉動，也可能出現在轉冠中，兩轉子間的間隙時大時小。
在這種狀態下，將可調齒輪連接輪轂的螺釘擰松并拔出定位銷釘，進行調節，便轉子的嚙合和齒輪的嚙合同時達到正常嚙合狀態，這時各處間隙就均勻了，重新擰緊螺釘，重鉸銷釘孔并裝上銷釘定位。倘如轉子外徑與泵殼的間隙某處過大，則可擰松端蓋與泵殼的連接螺釘，拔出定位銷，進行調節，待各處間隙都均勻了，再擰緊螺釘，重鉸端蓋與泵殼的定位銷孔并裝上錐銷。
(4)環境溫度升高則抽氣量就會降低，針對這種情況，盡量將注入水溫降低。
2、故障現象：真空度不夠高
產生原因：(1)進氣系統密封不嚴，有漏氣現象;(2)泵本身密封不嚴，在軸封處漏氣;(3)轉子與轉子或轉子與殼體的間隙過大，空氣溫度過高：(4)泵的進出口氣體介質的壓力差過大。
排除方法：解決前3種故障的辦法與前述方法相同。其中，空氣溫度過高，會降低真空度，如果是濕式泵則可在進氣口處注入冷水，如果是干式泵則在出氣口加冷卻器，降低空氣溫度。對(4)款壓差過大的原因甚多，如是干式泵需檢查安全閥(溢流閥)是否失靈，如失靈出氣壓力可能偏高，如是濕式泵則可能是出口水封壓力過高或者是出口管徑過小、彎頭太多而增加了出口阻力所致，針對實際情況予以排除。
3、故障現象：停車后泵再啟動困難
產生原因：有時泵在連續運行時，未發現有什么不正常的現象發生，一旦在短暫的時間內停止運轉，再啟動就感到困難，甚至不能啟動，這種現象的發生，如是濕式泵，則可能有下列原因：(1)泵殼內壁和轉于外表面水垢積沉太厚，將間隙堵死了;(2)在安裝或更換進氣管道時，未很好將管內清洗干凈，致使焊渣或其它硬雜物帶進了泵內;(3)轉子發生串位，轉于端部與端蓋發生了摩擦而增大了阻力;(4)轉子軸彎曲，轉子或同步齒輪咬死。
排除方法：(1)進入泵的冷卻水，有的是未經過處理的硬水，鈣質太重而在泵內產生沉積，尤其是未經處理的硬水又在泵內處于50-60℃溫度下工作，就更容易沉積而成為水垢堵塞了泵的間隙。解決的辦法有二：一為機械法，就是用鏟刀或刮刀把水垢鏟除，另一辦法是采用化學的方法，可用濃度為5%～10%的鹽酸。其中，用化學法清除垢結束后，須用蒸汽和水進行洗滌，以免設備被腐蝕。為了避免產生嚴重的結垢現象，冷卻水應該是經過處理的溫度在20℃以下的清潔冷水;(2)在裝管子之前，一定要將管內清理干凈，在有條件的場合，先將管內壁通擦干凈，而后用壓縮空氣吹洗;(3)取出轉子重新裝配，并查明原因何在，針對具體情況而予以適當處理;(4)將轉子從泵殼中取出，并將其放在兩個平行而等高的刀口上或與此類似的支架上，用千分表檢查轉子軸是否有彎曲和彎曲度的大小和方向，如彎曲度小則用壓力機矯直，如彎曲度大則需更換。
4、故障現象：泵在運轉時噪聲增大
產生原因：(1)轉子與轉子或轉子與殼體之間艙間隙不均勻或不合適而發生了摩擦，在這種情況下噪聲則可劇烈增加;(2)同步齒輪嚙合不好，或齒間間隙過大，或者是齒輪箱內缺乏潤滑油，齒與齒處于干摩擦狀態，這時齒箱內的噪聲也會劇烈增加：(3)泵的轉速過高，工作介質(空氣和水)在泵腔內和穩壓箱中產生劇烈的碰撞，甚至泵還發生振動，當然噪聲也就增大了。
排除方法：要仔細分析查聽，找出噪聲發源于何處，然后查出產生噪聲的原因，隨之降低噪聲的辦法也是有的。(1)如果轉子與轉子或轉子與泵殼發生摩擦而產生噪聲，這是完全可以測聽出來的，按照前面所述的調節轉子間隙的方法進行仔細調整，使其各個間隙都符合要求：(2)將同步齒輪中的一個，即