螺桿真空泵是容積式真空泵的新成員，出現(xiàn)于20世紀(jì)90年代前后，發(fā)展緩慢。

　　但是，作為理想的干式泵，出現(xiàn)了螺桿真空泵，并得到了迅速的發(fā)展。現(xiàn)在就理解小編和基本知識(shí)吧.

　　一、螺桿真空泵的特點(diǎn)

　　螺桿真空泵起源于螺桿壓縮機(jī)和螺桿式液體輸送泵，是容積式真空泵中理想的干式真空泵。由于能夠清潔無(wú)油真空環(huán)境，對(duì)含有腐蝕性氣體、凝結(jié)性蒸汽、粉塵粒子的氣體有較強(qiáng)的適應(yīng)性，清潔電子半導(dǎo)體、制藥、石油化學(xué)等真空環(huán)境的要求嚴(yán)格，在氣體成分復(fù)雜行業(yè)中，螺桿真空泵很受歡迎

　　螺桿真空泵通過(guò)一對(duì)非對(duì)稱螺桿轉(zhuǎn)子的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，使齒間容積周期性變化來(lái)輸送氣體，實(shí)現(xiàn)抽出。這些特征包括：

　　1.清潔無(wú)油，多相混輸，適應(yīng)性廣。螺桿真空泵轉(zhuǎn)子之間有嚴(yán)格的間隙，泵室內(nèi)無(wú)油，可吸入腐蝕性氣體、有毒及粉塵、凝結(jié)性蒸汽等復(fù)雜氣體。

　　2、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，動(dòng)平衡好，可靠性高。螺桿真空泵零件少，芯零件無(wú)易損件，無(wú)不平衡慣性力，運(yùn)行可靠，壽命長(zhǎng)。

　　3、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，零件少，操作、維護(hù)簡(jiǎn)單。

　　4.通過(guò)強(qiáng)制輸送空氣，可以在寬的壓力范圍內(nèi)確保大的吸引速度，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響。

　　二、螺桿真空泵的結(jié)構(gòu)

　　螺桿真空泵一般為雙軸結(jié)構(gòu)。螺桿真空泵是經(jīng)由一對(duì)非對(duì)稱螺桿轉(zhuǎn)子在泵室同步高速反轉(zhuǎn)，使齒間容積周期性變化而產(chǎn)生進(jìn)氣和排氣作用的排氣設(shè)備。

　　其主要結(jié)構(gòu)為螺桿轉(zhuǎn)子、軸承、泵體、密封件等。螺桿轉(zhuǎn)子經(jīng)過(guò)精密的動(dòng)平衡補(bǔ)償由軸承支承，安裝在泵室，螺桿與螺桿之間保持嚴(yán)格的一定間隙。泵工作時(shí)，相互沒(méi)有摩擦，工作順利，噪音低，室內(nèi)不需要潤(rùn)滑油。因此，螺桿真空泵在能夠吸引含有大量水蒸氣和粉塵的氣體時(shí)，具有極限真空高、低耗電、節(jié)能、免維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)。

　　螺桿真空泵的主要結(jié)構(gòu)

　　由上圖可知，螺桿真空泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。形式上，根據(jù)螺桿真空泵分為臥式和立式的螺桿轉(zhuǎn)子型生產(chǎn)線，分為單頭螺桿真空泵和多頭螺桿真空泵。單頭螺桿真空泵通過(guò)轉(zhuǎn)子的螺距、等螺距螺桿。

　　多頭型金屬絲可在一個(gè)金屬絲內(nèi)完成進(jìn)氣、壓縮、排氣過(guò)程，金屬絲較少，能有效地減少泵的體積和重量，適用于大抽吸速度區(qū)域，但其金屬絲復(fù)雜，需要特殊工具和專(zhuān)用機(jī)床，加工費(fèi)用高，且由于三角泄漏的原因，真空度高

　　單頭型生產(chǎn)線適用于小型螺桿真空泵，市場(chǎng)上也多為單頭式真空泵。其中等間距螺桿真空泵室內(nèi)不壓縮，固體粒子和凝結(jié)性氣體能夠簡(jiǎn)單排出，但排氣溫度和能量消耗率高的可變間距螺桿真空泵室內(nèi)有壓縮，排氣溫度低，能量消耗低，但粉塵粒子和凝結(jié)性氣體的耐性存在等間距差。

　　三、螺桿真空泵的工作原理

　　由于是由螺旋壓縮機(jī)產(chǎn)生的，所以螺旋真空泵的工作原理也與螺旋壓縮機(jī)相似。用近似的多線進(jìn)行說(shuō)明。

　　1.進(jìn)氣過(guò)程

　　a.進(jìn)氣進(jìn)程開(kāi)始

　　b.進(jìn)氣中

　　c.進(jìn)氣過(guò)程結(jié)束

　　2.壓縮過(guò)程

　　a.啟動(dòng)壓縮進(jìn)程

　　b.正在壓縮

　　c.壓縮過(guò)程結(jié)束排氣開(kāi)始

　　3.排氣過(guò)程

　　a、排氣中b、排氣中結(jié)束

　　螺桿真空泵的排氣過(guò)程。齒間容積與排氣口連通后，排氣過(guò)程開(kāi)始。隨著齒間容積的縮小，有排氣壓力的氣體從排氣口排出。

　　四、螺桿真空泵的應(yīng)用

　　螺桿泵不僅適應(yīng)性寬，而且能夠在嚴(yán)格的條件下進(jìn)行排氣，并且能夠?qū)崿F(xiàn)高真空度(0.1~1Pa)。因此，隨著半導(dǎo)體、石油化學(xué)行業(yè)的迅速發(fā)展，螺桿真空泵作為理想的干泵開(kāi)始廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體、醫(yī)藥化學(xué)工業(yè)領(lǐng)域如半導(dǎo)體行業(yè)的蒸鍍、蝕刻、醫(yī)藥化學(xué)工業(yè)行業(yè)的蒸餾干燥、中間

　　由于型線技術(shù)和加工成本，螺桿真空泵的購(gòu)買(mǎi)費(fèi)用比較高，但從長(zhǎng)遠(yuǎn)來(lái)看，其寬度適應(yīng)、高效節(jié)能環(huán)保特性和低故障修理率，在運(yùn)行周期內(nèi)給企業(yè)帶來(lái)了較高的綜合利益和社會(huì)環(huán)境利益，使用更多的通用性是未來(lái)的趨勢(shì)。