真空系統是真空泵、真空計以及各種部件經由配管適當連接，以達到一定的真空度的裝置。 真空系統的基本要求是什么?

　　1.在被吸引設備或工作室內得到必要的極限真空和工作真空度

　　極限真空度是指設備沒有泄漏時到達的真空度，動作真空度是指設備進行真空處理時能夠維持的真空度。 真空處理時多釋放大量的氣體，此時的工作真空度顯著低于極限真空度。 極限真空度和工作真空度分別重要，從不同的方面影響器件的質量。 例如，在使用氧化物陰極器件的排氣真空系統中，大量排氣電10-2極脫氣和陰極分解，如果工作的真空度差，則有可能導致電極被氧化，陰極不被活性化的結果。 但是，當器件最后被密封時，幾乎沒有氣體泄漏，器件內的真空度取決于排氣真空系統的極限真空度。

　　2.為了得到某工作的真空度所需要的時間

　　這個時間由真空系統的吸引速度的大小決定。 加快速度就可以縮短這個時間。 大工作室顯然需要很大的速度。 工作室可能不大，但是泄漏氣體很嚴重，真空系統也需要很大的吸引速度。 否則，大量的泄漏氣體會大大降低真空度，系統將無法工作。

　　3.提取的設備和工作室內有適當的殘留氣體成分

　　實踐證明，單純提高極限真空度和工作真空度是不夠的，殘留氣體成分也有一定的要求。 例如，為了在一年的壽命中抑制靈敏度的降低，真空攝像裝置要求在能夠承受裝置內的殘留氣體的氧量為10-2Pa以下的高壓的真空開關管內不包含烴分子等。 真空系統的殘氣成分，如果系統沒有其他氣體源，主要取決于泵的特性。

　　4.真空系統需要結構簡單、性能可靠、操作維護容易、價格便宜等

　　要滿足這些要求，必須從泵的選擇、管道尺寸的確定和配置、裝配工藝等多方面進行綜合考慮。 這些基本要求總是相互關聯的。 例如，真空系統總是有微小的泄漏現象，所以采用吸引速度大的泵的話，比吸引速度小的泵能得到更好的工作真空度，但大的泵價格高，水和消耗電力多，所以存在合理選擇的問題。 機器和小型真空系統應該選擇小型真空泵，成本低，效率高，噪音小。 有些用戶選擇流量大的工業真空泵是不合適的。

　　5.自動化要求

　　隨著計算機技術的發展，用戶對真空系統的自動化要求也在提高。 在真空系統中，自動控制主要是真空泵流量和真空度的調節。 真空度多通過調節真空泵流量，安裝節流閥、安全閥來控制。 由于節流導致能量損失大，會產生多馀的噪音，所以最好直接調節真空泵的轉速。 工業真空泵的調速方法有多種，主要分為兩種。 第一種是電機的轉速不變，用附加裝置改變真空泵的轉速，例如變速器調速，第二種是直接改變電機的轉速，例如晶閘管串聯調速、變頻調速等。 目前工業真空泵常用的方法是變頻調速，節能效果好，能實現無級調速，調速比大，調速準確，速度穩定。

　　適用于小型真空泵系統的微真空泵，以往主要采用降壓調速，但降壓運行的優點有利于延長泵和馬達的壽命。 如果泵的負荷大，降壓后馬達無法啟動，馬達溫度上升，容易發生安全問題。 目前，最先進的國產“氣?！闭{速微真空泵配置了進口無直流電機，具有PWM (脈沖寬度調制)線，可以簡單可靠地調節流量，輸出電機轉速反饋信號(FG )，可以實時監控電機情況，實現自動控制具有完全的自我保護功能，可以在泵的固定、過熱等意想不到的情況下自動停止。 調速微真空泵是小型真空系統自動化的理想選擇。

　　總而言之，在氣密性良好的真空系統中，如果總是沒有排氣，內部也沒有蒸汽源，就可以采用小的、極限真空度好的泵。 但是，在系統漏氣很多的情況下，必須用提高吸引速度的方法來確保工作真空度。 在這種情況下，采用大吸引速度的泵，盡量增大配管的傳導，選擇短而粗的配管。