卡死是真空泵維護過程中常見的異常現象，習慣上把由于某種原因馬達過載而不旋轉的現象稱為“卡死”。

　　真空泵卡死的原因

　　彈簧破損，不對旋片施加力的組裝不適當，對某一部分施加力，吸氣日的過濾器丟失或破損，外部的污垢、金屬屑、玻璃屑等落入泵室內。 另外，泵轉子、轉子的端面和端蓋之間的間隙過小，除了因摩擦發熱導致轉子伸長或過熱的摩擦之外，轉子的硬度太大，在端面上產生很深的傷痕，燒結卡死。 軸和套筒的配合過緊的話，潤滑油路會變得不順暢，有時會因粘在一起而粘住。

　　真空泵長時間不使用，泵室內生銹的泵在濕度高的環境下工作，或吸入濕氣體，使泵油成為乳液或泵油的水垢，變成殼，泵油粘度太大(冬天)轉子在啟動的瞬間破裂的一部分泵的高度， 低真空室的氣道上有半圓槽，上面的橡膠板被壓得很緊，堵住了中間氣體的逆通道等，泵容易卡死。 這樣的缺點經常很危險，由于轉子在卡死的瞬間不會使馬達過載或旋轉，所以馬達容易燒損。 即使不燃燒馬達，如果不早點停止修理，泵室也會輾死、損壞旋轉體、扭轉旋轉體、燒端面。

　　卡死總是發生在轉子、轉子和端面或中R4板之間，或轉子和泵室之間，這些部位是決定真空泵極限壓力的重要部位。 所以，如果發生卡死現象，就要緊急停止泵，排除故障，進行適當的修理。 絕對不能再試機器，也不能勉強做。 否則，泵將完全廢棄，無法修復。 前面也敘述了同樣的例子。

　　有些水泵的卡死習慣很容易修復。 例如，左右級的氣體通路，在中隔板的上部銑削半圓槽，在上面接觸橡膠板，用油箱按壓，橡膠板過厚，油箱變得過緊，橡膠因泡沫膨脹，氣體通路的半圓槽被堵塞時，泵不動或打開一會兒就卡死住此時，只需分解泵，挖掘多馀的橡膠，重新安裝。

　　排氣閥的座椅被過度按壓的話，2bv真空泵會卡死。 例如，有400L/min的滑閥泵，排氣閥推得太多不能跳躍的話，就會發生卡死現象，打開窗戶，稍微擰松推排氣閥的螺母，只要調整就能恢復。