螺桿真空泵是容積式真空泵的一個新成員，出現于20世紀90年代左右，發展較晚。然而，螺桿真空泵作為一種理想的干式泵，自問世以來發展迅速。現在跟隨小編去理解它的基本知識!

　　一、螺桿真空泵的特點

　　螺桿真空泵源于螺桿式壓縮機和螺桿式液體輸送泵。它是容積式真空泵中理想的干式真空泵。它能提供一個清潔和無油的真空環境，并對腐蝕性氣體、可冷凝蒸汽和含有灰塵顆粒的氣體有很強的適應性。因此，螺桿真空泵在電子半導體、制藥、石油化工等行業受到青睞。對清潔的真空環境和復雜的氣體成分有嚴格的要求，逐漸成為傳統油封機械泵和液環泵的替代產品。

　　螺桿真空泵通過一對不對稱螺旋轉子的反向運動，周期性地改變齒間容積，實現氣體輸送，達到抽氣的目的。它具有以下特征：

　　1、清潔無油，多相混合運輸，適應性廣。螺桿真空泵的轉子之間有嚴格的差距。泵室內沒有油。它可以泵出腐蝕性氣體、有毒氣體、灰塵、可冷凝蒸汽和其他復雜氣體。

　　2.結構簡單，動平衡好，可靠性高。螺桿真空泵零件少，核心零件無易損件，無不平衡慣性力，運行可靠，使用壽命長。

　　3.由于其結構簡單，零件少，易于操作、維護和保養。

　　4.強制氣體輸送可以確保在較寬的壓力范圍內有較大的泵送速度，并且排氣體積幾乎不受排氣壓力的影響。

　　二。螺桿真空泵的結構

　　螺桿真空泵通常是雙螺桿結構。螺桿真空泵是一種抽氣裝置，它利用一對不對稱的螺旋轉子在泵腔內進行同步、高速的反向操作，并周期性地改變齒間的容積，以產生抽吸和排氣效果。

　　其主要結構包括螺旋轉子，軸承、泵體、密封件等。螺旋轉子由精密動平衡校準，由軸承支撐，安裝在泵腔內。螺釘和螺釘之間保持一定的間隙。泵工作時，無摩擦，運行穩定，噪音低，腔內無需潤滑油。因此，螺桿真空泵可以去除含有大量水蒸氣和少量灰塵的氣體。它具有極限真空高、功耗低、節能、免維護等優點。

　　螺桿真空泵的主要結構

　　上圖顯示螺桿真空泵結構相對簡單。形式上，螺桿真空泵可分為臥式和立式。根據螺旋轉子型線，的不同，可分為單頭螺桿真空泵和多頭螺桿真空泵。根據轉子變螺距螺桿真空泵的螺距不同，單頭螺桿真空泵可分為等螺距螺桿真空泵和變螺距螺桿真空泵。變螺距螺桿真空泵可分為一級、二級和三級。

　　多頭型線可以一次完成吸氣、壓縮和排氣過程。導程小，可有效減小泵的體積和重量，適用于泵速較大的領域。然而，它的型線很復雜，需要特殊的道具和特殊的機床，而且加工成本很高。而且，由于泄漏三角形，真空度不高，所以在市場上很少見。

　　單頭型線適用于中小型螺桿真空泵，市場上大多是單頭螺桿真空泵。恒螺距螺桿真空泵腔內無壓縮，容易排出固體顆粒和可冷凝氣體，但排氣溫度和能耗較高。變螺距螺桿真空泵腔內壓縮，排氣溫度低，能耗低，但對粉塵顆粒和可凝氣體的耐受力不等于恒螺距。

　　顯示了轉子在幾個不同型線的結構比較

　　螺旋轉子的三種類型

　　三.螺桿真空泵的工作原理

　　由于它起源于螺桿式壓縮機，螺桿式真空泵的工作原理與螺桿式壓縮機相似。我們用型線布爾的比喻來說明：

　　1.阿司匹林

　　陽轉子逆時針旋轉，內螺紋順時針旋轉。在圖中，轉子的上端面是吸入截面，下端面是排氣端面。

　　吸入過程即將開始時轉子的位置。這時，型線在這對牙齒的前端已經完全嚙合，并將很快與吸入口連接起來。當轉子開始旋轉時，齒間容積由于齒的一端逐漸脫離而形成。齒間容積的膨脹在其內部形成一定的真空，齒間容積僅與吸入口連通，因此氣體在壓差的作用下流入。如圖1b由陰影部分表示。在轉子，隨后的旋轉過程中，陽轉子齒連續地從雌性轉子齒的齒槽中分離，齒間容積連續地膨脹，并且齒間容積保持與吸入孔口連通。示出了吸入過程結束時的轉子位置如圖1c，其最突出的特征是齒間容積達到最大值。隨著轉子，的旋轉，牙齒之間的體積不會增加。在該位置，齒間容積與吸入孔端口斷開，并且吸入過程結束。

　　2.壓縮法

　　順時針旋轉，逆時針旋轉。轉子的上端面是吸入段，下端面是排氣端面。

　　壓縮過程開始時螺桿真空泵的轉子位置。此時，氣體被封閉空間中的轉子齒和外殼包圍，并且齒之間的體積將由于轉子齒的接合而開始減小。隨著轉子，的旋轉，由于轉子齒的嚙合，齒間體積不斷減小。密封在齒間容積中的氣體的占據容積也減少，導致壓力增加，從而實現氣體的壓縮過程如圖2b，該過程持續到齒間容積將要與排氣孔端口連通。

　　3.排氣過程

　　螺桿真空泵的排氣過程。齒間容積與排氣孔端口連通后，排氣過程開始。隨著齒間容積的不斷減小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口排出。

　　這個過程一直持續到牙齒末端的型線完全咬合。此時，齒間容積中的氣體通過排氣孔端口完全排出，并且閉合的齒間容積的容積變為零。

　　四.螺桿真空泵的應用

　　螺桿真空泵不僅適應性廣，能在惡劣條件下抽氣，而且能達到較高的真空度(0.1 ~ 1 pa)。因此，隨著半導體和石油化工行業的快速發展，螺桿真空泵作為一種理想的干式泵，已經廣泛應用于電子半導體和醫藥化工領域，如半導體行業的氣相沉積和刻蝕、蒸餾干燥、中間體、溶劑回收、醫藥化工行業的油氣回收等。

　　雖然螺桿真空泵的采購成本由于型材技術和加工成本相對較高，但從長遠來看，其適應性廣、效率高、節能環保、故障維修率低的特點，在運行周期內可以給企業帶來較高的綜合效益和社會環境效益，其推廣使用將是未來的趨勢。