真空泵是指使用機械，物理，化學或物理化學方法排空泵送容器以獲得真空的裝置或設備。一般而言，真空泵是使用各種方法來改善，產生和維持封閉空間中的真空的裝置。

　　真空泵分類

　　根據真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩類，即可變容量真空泵和動量傳遞泵。

　　可變容量真空泵是一種真空泵，它利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣，從而達到抽氣的目的。氣體在離開泵腔之前被壓縮。

　　動量傳遞泵(分子真空泵)依靠高速旋轉的葉片或高速射流將動量傳遞給氣體或氣體分子，從而使氣體從泵的入口連續傳輸到其出口。

　　可變容量真空泵分為：往復式，旋轉式(旋片，滑閥，液環、澆注區，螺旋，爪形轉子)和其他類型。

　　澆注區和冷刀區的設備使用可變容量的泵。下面詳細描述可變容量泵。

　　可變容量泵分類

　　1、往復式真空泵

　　通過活塞在泵腔中的往復運動，氣體被吸入，壓縮和排出。也稱為活塞真空泵。有關詳細說明，請參見以下視頻：

　　2、旋片真空泵

　　利用泵腔內轉子零件的旋轉運動，氣體被吸入，壓縮和排出。它大致分為以下幾類：

　　1)油封真空泵

　　它是一種旋轉可變容量真空泵，它使用真空泵油來密封泵中運動部件之間的間隙，并減少泵中的有害空間。該泵通常配有氣鎮設備。它主要包括旋轉葉片真空泵，固定葉片真空泵，滑閥真空泵和擺線真空泵。

　　2)液環真空泵

　　泵殼中帶有多葉片的偏心轉子。當其旋轉時，工作流體在泵殼處拋出，形成與泵殼同心的液環。在液環和轉子葉片形成具有周期性體積變化小的幾個可變容積的吸入和排出腔室。工作流體通常是水或油，因此也稱為水環真空泵或油環真空泵。

　　3)干式真空泵

　　這是一個可變容量的真空泵，沒有被泵中的油(或液體)密封。由于在干式真空泵的泵腔中不需要工作液體，因此適用于需要無油清潔真空環境的半導體工業，化學工業，制藥工業和食品工業中的過程應用。內部工廠的研磨設備就是這種真空泵，沒有液體密封。

　　4)澆注區0真空泵配有兩個雙葉或多葉轉子，它們同時沿相反方向旋轉。在轉子之間以及轉子與泵殼的內壁之間保持一定的間隙。

　　選擇真空泵時需要注意哪些參數?

　　1、真空泵極限壓力

　　泵的極限壓力單位為Pa，是指泵在入口處裝有標準測試蓋并按照指定條件工作時的最低壓力。

　　2、真空泵抽速

　　泵的泵送速率單位為立方米/秒或L/S，這意味著當泵被根據指定的條件配備了標準測試罩和工作時，氣體從測試罩流量流動，并在測得的測試罩的指定位置平衡壓力比。簡稱為泵的抽速。

　　3、真空泵吸力

　　真空泵單元為Pa立方米/秒或PA L/S。指泵入口流量處的氣體。

　　4、真空泵啟動壓力

　　真空泵的啟動壓力單位為Pa，是指真空泵啟動時無損壞并具有泵送作用的壓力。

　　5、泵的前級壓力

　　真空泵的前壓力單位為Pa，是指排氣壓力低于一個大氣壓的真空泵的出口壓力。

　　6、真空泵的最大前級壓力

　　真空泵端口的最大前級壓力單位為Pa，這意味著它超過了可能損壞泵的前級壓力。

　　7、真空泵的最大工作壓力

　　真空泵的最大工作壓力單位為Pa，是指與最大泵送量相對應的入口壓力。在此壓力下，泵可以連續工作而不會劣化或損壞。

　　8、壓縮比

　　壓縮比是給定氣體的泵出口壓力與入口壓力之比。

　　9、 澆注區系數

　　實際抽速在抽水通道面積上的比率與此處基于分子滲出計算的理論抽速的比率。

　　10、抽速系數

　　泵的實際泵送速度與通過泵入口處的分子滲出計算出的理論泵送速度之比。

　　11、回流速率

　　泵的回流速率的單位為g/cm2.s。它是指當泵在規定條件下工作時通過泵入口單位面積的泵流質量流量。

　　12、允許的水蒸氣量

　　水蒸氣的允許量單位為kg/h，是指在正常環境條件下連續運行期間氣鎮泵可以去除的水蒸氣質量。

　　13、最大允許水蒸氣入口壓力

　　最大允許水蒸氣入口壓力單位為Pa。它是指在正常環境下，連續運行期間氣鎮泵可以除去的最大水蒸氣入口壓力。