2020
-
06
-
24
根據(jù)真空系統(tǒng)的不同，所要求的真空度也不同。 因此，很多情況下，必須用一組真空系統(tǒng)來完成。 也就是說，必須用在不同壓力范圍內(nèi)工作的真空泵連接。 高真空側(cè)的真空泵可以達到系統(tǒng)要求的真空度，但低真空側(cè)的真空泵可以直接排氣大氣。 最簡單的真空系統(tǒng)是排出大氣的真空泵。 但是，高真空系統(tǒng)一般需要三級機組，中真空一般需要二級機組。 一臺高真空泵和一臺低真空泵難以構(gòu)成有效的高真空系統(tǒng)。 這有幾個理由。 流量的連續(xù)性就是其中之一。 高真空泵有前段耐壓的限制。 也就是說，如果前段高于某個壓力，泵就不能正常工作。 當(dāng)前級泵達到該臨界壓力時，吸引速度減少，前級泵的排氣(651-235 )有可能小于主泵的排氣(651-235 )，該(651-235 )的不一致會破壞(651-235 )連續(xù)性的要求，真空系統(tǒng)必然會正常工作但是，如果在高低真空泵之間連接另一臺真空泵，則發(fā)揮從上到下的作用，流量各泵連續(xù)地以最佳狀態(tài)工作。 羅茨泵可以在中真空范圍內(nèi)工作，因為最合適，也稱為羅茨加壓泵，壓縮比不高，正好可以連接數(shù)Pa到數(shù)百Pa的范圍。 三級高真空機組進入為高真空度時，主泵的排氣流量顯著減少，因此此時，僅用小的前級泵就能維持排氣的連續(xù)性，能夠以實際運用中常采用的方法，減少機組的能量消耗。 高真空機組經(jīng)常需要三級機組的另一個原因是高真空泵吸入壓力的限制。 泵有啟動壓力，傳統(tǒng)的高真空泵在數(shù)Pa的范圍。 因此，前級泵必須...