1909年發(fā)明了旋片式真空泵，并于1936年發(fā)明了氣鎮(zhèn)泵。1941年，旋片式真空泵得到了廣泛的應(yīng)用和不斷的改進(jìn)。在20世紀(jì)60年代后期，國(guó)際上出現(xiàn)了提高速度和直接聯(lián)系的趨勢(shì)。在20世紀(jì)70年代早期，出現(xiàn)了一系列直連產(chǎn)品。在20世紀(jì)80年代早期，推出了一系列改進(jìn)的產(chǎn)品，并為用戶提供了多種選擇。附件可以保護(hù)泵或保護(hù)環(huán)境，并且泵本身的結(jié)構(gòu)得到改進(jìn)，以提高可靠性。? ?
在旋片真空泵的結(jié)構(gòu)中，為了在泵停止時(shí)防止回油，一些設(shè)置有能夠自動(dòng)切斷油路的止回閥，并且一些設(shè)置有進(jìn)氣通道截止閥，并且一些用于打開泵。當(dāng)城鎮(zhèn)突然運(yùn)行時(shí)，氣路自動(dòng)切斷，使泵口保持真空狀態(tài)，并提供油泵和控制結(jié)構(gòu)。在配件方面，有除霧器，氣味過濾器，用于阻擋碎片的人口過濾器，如碎玻璃，灰塵過濾器，蒸汽冷凝水箱，化學(xué)捕集器和控制泵溫度，以提高水蒸氣去除率并保護(hù)泵。溫控水量控制閥。在20世紀(jì)80年代末和90年代初期，推出了一種油過濾器，一種能夠監(jiān)測(cè)油溫，油壓，油質(zhì)等的電子顯示器，甚至可以連接計(jì)算機(jī)進(jìn)行自動(dòng)控制，使用強(qiáng)制潤(rùn)滑和空氣冷卻制造泵連續(xù)工作入口壓力為10 kPa甚至更高，因此同一泵的應(yīng)用范圍更大。
雙級(jí)旋片式真空泵，可廣泛應(yīng)用于冰箱，空調(diào)，燈泡，熒光燈，瓶襯生產(chǎn)及電子，冶金，醫(yī)藥，化工，油過濾器，印刷機(jī)械，包裝機(jī)械等行業(yè)，均可使用作為擴(kuò)散泵，羅茨泵和分子泵用于支持和實(shí)驗(yàn)研究應(yīng)用，如電子儀器和醫(yī)療儀器。由于直接耦合泵不會(huì)因皮帶摩擦而產(chǎn)生粉塵污染，因其體積小，重量輕，節(jié)省材料，功能完善而得到廣泛應(yīng)用。
噪音的原因和減少措施
旋片真空泵的噪音通常是指當(dāng)溫度穩(wěn)定時(shí)，泵在極端真空下測(cè)量的噪音水平。它包括泵本身的噪音和電機(jī)的噪音。它還關(guān)注啟動(dòng)階段的噪音，當(dāng)泵溫度不穩(wěn)定時(shí)，不同入口壓力下的噪音，以及開放天然氣鎮(zhèn)運(yùn)行期間的噪音。因此。有許多因素需要考慮。? ?
就聲音的位置而言，真空泵的噪音具有以下可能的方面：
（1）旋片對(duì)氣缸的影響，泵的剩余容積和排氣死區(qū)內(nèi)的壓力油的聲音;
（2）排氣閥板對(duì)閥座和支撐件的沖擊;
（3）盒子里的回聲和泡沫破裂;
（4）軸承噪音;
（5）大量油氣沖擊導(dǎo)油板引起的噪聲;
（6）其他。如變速器引起的噪音，風(fēng)冷泵的風(fēng)扇噪音等。
（7）電機(jī)噪聲，這是一個(gè)關(guān)鍵因素。