真空泵是一種產量大，應用面很廣的產品，但它確實是直接影響真空設備性能質量的必備基礎產品。真空泵的范圍從高/超真空到粗/低真空。產品可分為14類：

高/超真空——低溫泵，分子泵，濺射離子泵，鈦升華泵，擴散泵。?

中真空——干式泵，兩級旋片泵，羅茨泵，油增壓泵，水蒸汽噴射泵。?

粗/低真空——單級旋片泵，滑閥泵，液環泵，往復式真空泵。?

真空泵市場根據用戶需求動態變化。市場增長的主要驅動因素是半導體行業的快速發展以及干泵和分子泵應用的日益增長。?

目前，全球真空泵市場年銷售額約為20億美元，年增長率約為7％。?

中國有許多真空泵制造商。所有真空泵的年銷售額約為1.5億元，僅相當于美國 Kinney真空泵的年銷售額。通過對全球真空泵市場的分析，可以看出各種真空泵的市場和應用領域在不斷變化和發展。中國的真空泵制造業歷史悠久，基礎扎實。國內生產的真空泵已經在各個領域得到應用和驗證。一些泵也出口到國外，并得到了外國用戶的認可，并得到了好評。應該說中國的真空泵制造業在中國內外部市場仍有巨大的發展空間。?

?1.液環泵

雖然液環泵是一臺粗真空泵，但它在中國的石油，化工，電力，紡織，造紙，醫藥等領域仍有很大的市場。

在國外，液環泵的銷量占真空泵市場總量的14％，僅次于干泵，因此Nash，Seimems和Kinney等公司正在中國投資或建立銷售網絡以擴大其在中國的市場份額。由于液環泵主要是鑄造而且加工要求不高，因此它是一種勞動密集型產品。因此，國產液環泵在價格上具有競爭優勢。關鍵是要改進設計，減少體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。?

?2.滑閥泵

由于滑閥泵更耐用可靠，國內外各種真空爐，涂布機，烘干和浸漬設備使用滑閥泵作為前級泵，但滑閥泵鑄件很重，加工工作量很大，因此國外真空廠正在尋找合作伙伴，為了使國內滑閥進入國際市場，有必要進一步降低泵的振動和噪音，防止燃油噴射和漏油，提高滑閥泵長期運行的可靠性。

3.直聯旋片泵

隨著真空技術在各種應用中的不斷擴展，對直聯旋片泵的需求不斷增加。由于此類泵的數量眾多，加工和裝配工作量非常大，而且價格非常低，因此一些國外真空制造商在中國設立了專業工廠。國內中小型直聯旋片泵已經過技術通過，價格遠遠低于國外泵。因此，國產泵仍具有競爭優勢。關鍵是要解決軸封油泄漏問題以及旋轉葉片材料和真空泵油的性能質量問題。確保直聯泵在高速和高溫下穩定可靠，進一步提高了國產直聯旋片泵除去水蒸氣的能力。?

?4.羅茨泵

來自國外羅茨泵的生產情況，幾家大型外國公司，如Leybold，Balzers，Alcatell，Edwards和ULVAC，他們的羅茨泵銷量占全球銷售額的羅茨泵超過5％，這5家僅占20％，生產的是羅茨泵并不大，但國外羅茨泵的價格遠高于國產泵。目前，國內外幾乎所有大小型高真空和中等真空系統都配備有羅茨泵，以縮短抽氣時間，提高生產效率。因此，國內羅茨泵必須在占領國內市場的基礎上進入國際市場。進一步降低國產羅茨泵的振動噪聲，徹底解決了軸封漏油問題，提高了泵的外觀質量，提高了泵的平穩性和清潔度。另外，有必要考慮一些國家和地區的工頻是60Hz，并且必須在增加速度的條件下確保羅茨泵的長期運行的可靠性。?

目前，國內氣冷直排氣氛羅茨泵進展迅速，技術成熟。

由于泵在排氣口下方配備了氣體冷卻器，一部分冷卻后的氣體通過管道返回泵室冷卻轉子，使壓縮熱平衡，泵可直接排氣到了大氣層。為了滿足不同極限真空的要求，泵可以串聯使用。通常，前面增加了空氣冷卻的直排氣氛羅茨泵，實現的極限真空比前級泵高一個數量級。這種類型的泵實際上是干泵，因為泵室中沒有工作介質。目前，這種氣冷式在線氣氛羅茨泵和機組已經在石油，化工，塑料，農藥，渦輪轉子動平衡，航天空間模擬等設備的長期運行中進行了測試，因此應予以推廣和應用。在中國申請。?

5.分子泵?

分子泵在許多國外半導體領域，它被用來取代低溫泵，尤其是濺射，刻蝕和LCVD。復合材料分子泵和牽引泵用作主泵。?

由于水蒸汽的分子泵僅為相同直徑低溫泵抽速的四分之一，因此分子泵的排氣時間比低溫泵的排氣時間長。為了增加抽速，在分子泵的入口側安裝了-130°C~-150°C的低溫冷板，稱為低溫分子泵。水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體被分子泵抽走。這種低溫分子泵適用于真空鍍膜設備，不僅提高了生產效率，還提高了薄膜質量。隨著中國半導體產業，電影產業和科學研究的迅速發展，分子泵應成為中國真空泵制造業發展的重點。首先，分子泵應該從小到大構建一個完整的系列，并研發各種復合分子泵，牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。?

?6.干泵

海外干泵市場繼續增長，其主要驅動力來自半導體工業，化學工業和電影工業的快速發展。在日本，半導體工業用干式真空泵取代了油封機械泵。超過45％的歐美半導體行業用干式真空泵取代了油封機械泵，大大提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，有多級羅茨真空泵，多級爪式真空泵，螺桿真空泵，渦旋真空泵，往復式活塞真空泵和渦輪無油真空泵。極限壓力為10 Pa至10-2 Pa，0 x 7d6為20 m3/h至500 m3/h。

據統計，目前國內干泵應用不到1％。半導體行業的國產干泵全部從國外進口，價格非常昂貴。因此，中國應大力研發干泵，使干泵成為中國真空行業新的經濟增長點。?

?