最近有些等離子清洗機的客戶尋問客戶技術的問題，今天就來探計一下。

等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊場合下產生的物質，用真空泵實現一定的真空度，等離子體在電磁場內空間運動，并轟擊被處理物體表面，從而達到表面處理、清洗和刻蝕的效果。在真空等離子清洗機的使用過程中，如果有真空抽不了，真空度無法維持，抽真空時間也變長等的問題，應該是真空泵怠工了！今天恒才陳工用案例給我們分享一些維護保養小常識，僅供參考：

現象：真空泵抽空能力下降，經測試真空泵在無負載狀態下極限真空為8Pa；真空泵進行拆解保養后，真空泵在無負載狀態下極限真空小于1Pa。

維護保養的過程：對帶回真空泵進行拆解保養及保養后性能測試，在拆解后發現真空泵腔體內有很多雜質堆積，真空油混濁且粘稠度較高，各級旋片出現不同程度磨損，止逆閥損壞、排氣閥片斷裂，詳細闡明如下：
????
???????? 1、真空泵抽氣濾網有大量雜質沉積，網孔出現堵塞：

2、真空泵腔室內有大量雜質沉積和粘附，雜質會隨真空泵的運行而流動，易造成真空泵轉子卡死、真空泵各級旋片劃傷及損壞、封堵油路、排氣閥片斷裂等情況，影響真空泵的抽空能力甚至導致真空泵轉子等主要部件損壞。

因大量雜質已經粘附于腔室內，一般清洗難以去除，需采用化學試劑浸泡清洗和物理打磨的方法去除。經確認，腔體內雜質以膠渣沉積物為主，其他成分無法確定，還需與客戶進行技能討論進行深化了解。

3、排氣閥片開裂，如下為換下的新舊的排氣閥片對比圖：??

排氣閥片在真空泵內起到單向閥的作用，開裂后排氣閥片單向閥作用失效，導致真空泵無法正常抽真空，之后真空泵抽真空能力下降。

??? 4、真空泵油位監視玻璃已經出現腐蝕及雜質附著的情況，無法清晰的對真空泵腔室內的油位進行觀察。

真空泵油混濁且粘稠度較高，主要原因與腔室內大量雜質沉積和真空油更換周期較長有關，如下為真空泵腔室內放出的真空油及加入的新油對比。

5、真空泵內各級旋片出現不同程度磨損及劃傷，真空泵一級旋片旁邊摩擦面弧度已經被磨平，導致旋片合作間隙變大，影響抽真空能力。

6、真空泵轉子抽排氣濾網已經損壞，出現一定程度的腐蝕情況

7、真空泵腔體密封圈已經損壞，不能繼續使用可能會造成漏油現象。

8、真空泵止逆閥已經損壞，導致抽真空下降。

離子清洗機的真空泵需進行定期的拆解維護保養：

1、真空泵內腔體及轉子清洗、拋光；抽氣濾網清洗；

2、真空泵轉子抽排氣濾網更換；

3、真空泵排氣閥片更換；

4、真空泵油更換；

5、真空腔體密封圈更換。

6、真空泵一級旋片、二級旋片、小旋片更換；一級旋片及二級旋片各一幅（兩片），小旋片為一片；

7、真空泵油位監視窗玻璃更換；

8、真空泵止逆閥更換。

以上就是陳工對等離子行業中真空泵維護應用分享，大家學習后有任何的技術問題或者見解都可以網站留言，陳工會與您一起探討真空技術問題，爭取更大的利益最大化。

?