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2025 - 05 - 23
電子封裝用水環真空泵機組具有以下優勢:結構簡單,制造與維護便利:水環真空泵機組結構緊湊,制造精度要求不高,容易加工,一般可與電動機直聯,無需減速裝置,占地面積小,操作簡單且維修方便。這種設計不僅降低了設備成本,還減少了維護時間和成本。工作平穩,運行可靠:水環真空泵機組的轉子和外殼之間通過水環形成密封,減少了轉子旋轉時的噪音,運行平穩且穩定性強。這種平穩的運行狀態延長了設備的使用壽命,降低了故障率,確保了電子封裝過程的連續性和穩定性。適應惡劣工況:水環真空泵機組能夠在高溫、低溫以及惡劣環境條件下穩定運行,對氣體的壓縮接近等溫壓縮,壓縮時溫度變化小,泵內沒有相互摩擦的金屬接觸面,不易發生燃燒爆炸事故。這種特性使得水環真空泵機組特別適用于處理含有微小顆粒或水分的氣體,以及易燃、易爆等危險氣體。密封性能好:水環真空泵機組采用水作為密封介質,具有良好的密封性能,可有效防止氣體泄漏。在電子封裝過程中,這有助于保持封裝腔室內的真空度,提高封裝質量。安全性高:水環真空泵機組無需對泵內進行潤滑,轉動件和固定件之間的密封由水封完成,減少了因潤滑油泄漏而引發的安全隱患。同時,其穩定的運行狀態和較低的故障率也進一步提高了設備的安全性。
2019 - 10 - 29
隨著社會高新科技的發展,越來越多的行業對清理真空、環保等的需求更為嚴格,避免返油滲油的污染,因此干式螺桿真空泵得到了快速地發展。  干式螺桿真空泵主要用于高純粹的真空加工工藝過程,可處理含可凝性蒸汽的氣體,含細微細顆粒物的氣體。螺桿真空泵具有低消耗能、抽速大、使用期長、免 檢修等特性,因此廣泛應用于石油化工、冶金工業、制藥業、生物技術、造紙工業、電子光學工程等行業領域。  螺桿真空泵由電機定子、電機轉子、旋片、發動機缸體、電動機等主要零部件構成,在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備。  由于螺桿真空泵沒有真空泵物質(真空泵油、水等),通過螺桿真空泵的氣體未受真空泵物質的污染。這樣螺桿真空泵下冷疑部分轉化成過熱蒸汽下冷疑,進一步提高有 機溶劑類原材料的利用率,對螺桿真空泵下難冷疑的原材料特別有益。  通過該流程配備,螺桿真空泵排污的廢氣中已基本可含工業廢氣。另外,螺桿真空泵排盡氣體通過列管式冷疑器的殼程后,噪音也大大降低。  螺桿真空泵與啟動馬達對比真空度低,抽供氣量小,但容積精巧,便于安裝,維護簡單,移動方便,不環境污染,尤其在要求較高的場所使用也不錯。  因此在購買螺桿真空泵時要先確定要求工作的真空度,如果需求的真度高,選的螺桿真空泵就要高過需求的真空度,不然會達不到工作標準。
2019 - 11 - 05
首先,真空泵本身泄漏  1,密封件泄漏。檢查密封件,所述更換損壞的密封件的所有的密封件。  2,氣鎮閥墊片損壞,或擰緊。更換并擰緊墊圈氣鎮閥。  3,排氣閥膜受損,密封不好,閥板應更換。  4,真空泵膜片推干擾的量過多,導致在真空室中泄漏的變形。應更換或修理的真空泵室。  5,由于由密封不良的真空泵油泄漏的端部表面。它應該是開放的端蓋,檢查有無凹凸不平雜物,清洗或修理。  其次,真空泵油問題  1,把油面高度過低,足夠的油應加入到油標準中心線。  2,受污染的油,油質變壞。應該用新油更換。  3,油的等級不匹配,應該通過規定品牌真空泵油的更換。  4,油道屏障,真空室不能維持正確的油。單向閥進油通道和油,油是明確的。  5,過濾器的進氣口被堵塞。拆卸過濾器應該是干凈,然后把東西。  6,轉子被變形或破裂失敗彈簧和旋轉葉片移動。整修或更換應春具有良好的產品轉子旋轉葉片的偏轉。  7,真空泵溫度過高。  1,中的溶液被抽氣體溫度過高。應該被允許進入加油站前冷卻下來。  2,真空泵吸入體是很難磨損。拆卸硬物應該打開真空泵,修復或更換零件劃傷。  3,真空泵冷卻水是不夠的。應該增加冷卻水流量。  4,裝配不當,轉子軸的位移,導致片面的磨損。它應拆開檢查和重新組裝。  8,由于處理不良或磨損由間隙引起的過大。它應與泵室,轉子,旋轉葉片,罩板之間的間隙,流延預定的精度修理或更換進行檢查。  9...
2019 - 11 - 07
什么是水環真空泵       水環真空泵是液體環真空泵是最常見的一種。液環真空泵是安裝在泵殼體中的多葉片轉子具有偏心。當它旋轉時,液體拋出和泵殼體與所述泵殼的液體環同心,形成體積排量泵和所述轉子葉片的液體環旋轉周期變化。當工作流體是水,所述水環泵。  水環真空泵工作原理  水環真空泵的葉輪在泵殼內偏心安裝。啟動前在泵氣缸內灌入脫氧水(工作液)。當葉輪順時針方向旋轉時,由于離心力的作用,將液體甩至泵體壁,葉輪的轉動迫使工作液沿泵殼內壁形成一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環。此時,會在兩相鄰葉片、葉輪輪轂和液環內表面之間形成一個被工作液密閉的“氣腔”。由于葉輪在泵殼內是偏心配置的,所以水環的內表面與葉輪輪轂之間形成一個月牙形空間,它被葉片分成若干容積不等的小室,每個小室的容積隨葉輪轉動作周期擴大和縮小,當小室容積逐漸擴大,氣體由外界吸入,當小室容積逐漸縮小,使原先吸入的氣體被壓縮而排出。這樣,葉輪每轉一周,葉片與葉片間的小室容積改變一次。每兩葉片間的液體好像液體活塞一樣往復運動,連續不斷地抽吸氣體,達到抽真空的目的。  水環真空泵選型  1、應盡量選擇轉速較低的規格  我國水環真空泵的使用最可能是2BE 系列,屬軸向吸排氣單作用泵,關于同一個規格都有多種轉速供抉擇,當進口壓力在200 hPa~600 hPa,排氣壓力為800 hPa~10...
2019 - 11 - 08
真空泵是非常重要的機械設備,廣泛用于生產中,類型很多。您對不同類型的真空泵的工作原理了解多少?以下是為真空泵設計的幾種類型的真空泵的小系列。工作原理和適應范圍介紹如下。  01.螺桿真空泵  螺桿真空泵的特點:除了容積泵的共同特點外,螺桿真空泵還具有連續軸向流,脈動小,內部速度低以及混合更多空氣和其他氣體的可能性。應用了液體攪拌和旋轉的許多應用。  適用范圍:廣泛應用于石油,化工,化纖,電力,海上平臺工程,造船,精密機床,食品等工業領域。  02.齒輪真空泵  齒輪真空泵的特點:1.結構簡單,價格低廉; 2工作要求低,適用范圍廣; 3個端蓋和齒輪之間的各個間隙凹槽構成了許多固定的密封工作室,只能用作定量泵; 4,重量輕,工藝性能好,價格低廉,自吸性強,對油污不敏感,轉速范圍大,負載抗沖擊,易于維護,運行可靠; 5徑向力不平衡,動脈流量大,噪音大,效率低,零件互換性差,磨損后不易維修,不能用作可變泵。  適用范圍:一般運輸石油,潤滑油等潤滑液體;在機械工業中用作輔助油泵,用于中速,低壓力液壓系統和潤滑油系統;在化學工業中可用于輸送高粘度材料,例如尼龍,聚乙烯,聚丙烯和其他熔融樹脂。  03.葉片真空泵  葉片式真空泵的特點:輸出流量比齒輪式真空泵均勻,運行穩定,噪音小;工作壓力高,容積效率也高,單作用葉片真空泵易于實現流量調節,而雙作用葉片真空泵受轉子徑向流體壓力平衡。葉片真空泵的壽...
2019 - 11 - 12
一般情況下,水環真空泵以一定轉速旋轉工作,如果其轉速等于或接近泵轉軸系統振動頻率的倍數,水環真空泵就會發生猛烈的振動,即產生共振。如果轉速一直停留在臨界轉速附近,軸的變形就將速度增大,導致損壞泵的零件,甚至整個機器的破壞。  為了避免共振現象的發生,應首先計算水環真空泵泵軸的固有頻率。由于共振時泵的轉速等同于臨界轉速,所以實質的問題是計算水環真空泵的臨界轉速。第一階臨界轉速下,振動激烈,最為危險,所以通常主要計算第一階臨界轉速。  目前,計算臨界轉速的方法有:瑞利法、等效重量法以及鄧克爾萊方程法等。對 于 實 際 中的水環真空泵轉軸,都是多階變徑軸,使用瑞利法在計算撓度時會變得非常繁瑣,單一運用等效重量法和鄧克爾萊方程也不能有效的解決。同時現行計算臨界轉速都是將葉輪載荷簡化為集中載荷,當葉輪軸向長度較長時將會嚴重影響計算準確性。  因此,針對以上問題,本文提出并使用一種新的有效的計算方法,以解決計算轉軸系統的臨界轉速問題。  計算原理該計算首先將階梯軸通過當量直徑來等效轉換為等徑軸,計算出其臨界轉速,同時將葉輪等效為均布載荷,利用疊加原理計算撓度,通過瑞利法可計算 出 葉 輪 載 荷 下(不 計 軸 重)的 臨 界 轉 速。最后運用鄧克爾萊方程計算出轉動機構的臨界轉速。  計算結果  選用某型號水環真空泵的轉軸系統進行分析,利用MATLAB對數據進行計算,由 于 系 統 材料為30...
2019 - 11 - 14
我們將向您介紹螺桿真空泵在鍍膜設備中的應用。在過去的十年中,由于國內經濟的不斷改善和人民生活水平的提高,極大地影響了涂料行業在國民經濟中的地位和作用。國內市場對產品涂料的要求越來越高,市場需求也在不斷增長。真空技術的應用領域包括電子技術,航空航天技術,加速器,表面物理學,微電子學,材料科學,醫學,化學工業,工農業生產,日常生活等領域。真空泵鍍膜的應用是真空應用的一大分支,在光學,電子,物理和化學設備,包裝,機械和表面處理技術中有著廣泛的應用。  真空鍍膜的主要方法有:  真空濺射:當高能粒子(通過電場加速的正離子)撞擊固體表面時,它們與表面上的原子和分子交換能量,導致這些原子和分子濺出。  真空蒸發:將形成薄膜的材料加熱并在真空中蒸發,以將其沉積在合適的表面上。  干螺桿真空泵的優點  1、工作腔和螺桿轉子表面均具有抗腐蝕涂層,可適應惡劣條件。  2、氣體未在泵中壓縮,適合于抽取可凝性氣體。  3、無油耗,無滴落。  4、結構簡單,維護方便。  5、所泵送的氣體直接從泵體排出,不污染水,沒有環境壓力,更便于氣體回收。  螺桿真空泵是真空鍍膜設備生產中必不可少的設備。其主要功能是控制鍍膜機的溫度,以確保鍍件的質量和生產效率。它的應用可以避免環境溫度對自來水和冷卻塔的冷卻造成的不利影響,并確保涂布機高精度,高效率地工作。真空泵的冷卻效果也直接影響產品的質量。隨著真空鍍膜行業的飛速發展,...
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2019 - 03 - 18
真空技術對我們的普通生活究竟有多大影響?開始今天的課堂前讓小編帶您快速回顧下真空技術的發展史1643年,意大利物理學家托里拆利發現,真空和自然空間有大氣和大氣壓力存在。1650年,德國的奧托·馮·格里克制成活塞真空泵。1850年和1865年,先后發明了汞柱真空泵和汞滴真空泵。20世紀初,真空電子管出現,促使真空技術向高真空發展。1940年以后,真空應用擴大到核研究、真空冶金鍍膜和冷凍干燥等方面,真空技術開始成為一個獨立的學科。真空技術距離我們的現代生活有多遠?今天小編就帶您三分鐘走進我們生活中真空技術。 07:00早晨,相信大部分人醒來做的第一件事就是摸手機(有木有被小編說中)。手機中存有上千個半導體元件,這些半導體元器件的制造都離不開真空泵的技術。 07:30準備早飯。電水壺,烤面包機,微波爐,這些小家電的背后都有真空技術的默默貢獻。 08:00帶上智能手表穿戴設備,揣上車鑰匙出門。穿戴設備內含大量半導體元器件。不夸張的說,沒有真空的世界,電子產品就不不存在。 08:10開車前往公司。汽車中儀表盤,擋風玻璃,LED 車燈,甚至汽車尾氣處理,都有真空技術的影子。 09:00到達公司辦公室,辦公室內幾乎所有的交易都是依賴電子設備,亦離不開真空技術的貢獻。 例如PC,電話,投影儀,移動儲存設備,空調設備。 ...
2018 - 06 - 11
水環真空泵很熱門,被廣泛應用于各個行業中,今天來說一說,在造紙行業生產中,怎么選擇合適的水環真空泵,很多客戶說選型水環真空泵很復雜,其實我們只要堅持以下幾項原則,就能比較容易實現水環真空泵的合理配置,做出正確的選型,下面來一起看一下吧。第一、選用節能水環真空泵。目前國內外市場上適用于造紙行業使用的水環真空泵有2BE,2BV,VG等幾個系列,通過這幾年針對粗低真空行業水環真空泵新產品開發,水環真空泵的效率取得了較大幅度的提高。我公司近年來代理德國SPECK品牌VG系列水環真空泵,在實驗站條件下,測得抽吸干空氣能達到67%的最高效率,用于造紙廠抽吸濕空氣將會有更高的效率,德國的機械技術確實高效節能,新技術也帶來的新變化。  第二、選用低轉速水環真空泵。水環真空泵的效率與轉速有直接的關系,泵的氣量與轉速成一次方的關系,在轉速偏高規定時軸功率卻與轉速成近似二次的關系。當轉速提高10%時氣量也提高10%,而軸功率卻增加20%左右,所以在選用真空泵時,應盡可能選用低轉速的水環真空泵。最好能選用葉輪葉片端部的線速度在18m/s以下時對應的轉速,這時候泵的效率通常會比較高。當然相對選用較高轉速的泵將會付出更多的購買成本,相對于日積月累更多的能耗,在日益強調節能降耗的大背景下,顯然選用低轉速的節能真空泵是值得的。第三、各真空點組合合理。應將真空度和空間位置相近的真空點組合在一起,用一臺較大型的真空泵...
2018 - 08 - 08
一、德國SPECK品牌VG30,VG55水環真空泵,采用氣體傳輸真空泵原理,使用高品質材料,密封機軸設計消除了泄露,更有牙口和法蘭型兩種接口,適用于不同客戶的要求,整泵為小型體質節省空間,易于空裝。德國SPECK 進口水環真空泵性能參數表:二、康斯頓(CNST)品牌2BV6水環真空泵是利用西門子技術,自主開發的具有國際領先水平的真空泵。其廣泛應用于電子、電池化工、塑膠、造紙、包裝印刷、線路版壓合、CNC加工中心等各行業中,從鑄鐵到不銹鋼各種材質可供選擇。 國產水環真空泵性能參數表:以上就是進口水環真空泵和國產水環真空泵的參數對比,如有更多技術問題請聯系張工13928410990.我們一起來探討.
2018 - 10 - 18
大部份行業用到真空機組,那么真空機組的類型有哪些呢,怎么組合選型?真空機組一般依據主泵的類型來命名,比如水環真空機組,水環羅茨機組,螺桿真空機組等等,依據產品特點來進行分類,如含油真空機組與無油真空機組;常見的是,是按真空使用規模來分,可分為低真空機組、中真空泵機組、高真空機組及超高真空機組,下面和恒才公司一起來了解一下吧。 真空機組類型:1.低真空機組,作業壓力高、排氣量大,多用于真空運送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥機真空脫氣等。低真空機組常用的主泵,容積式真空泵中的往復泵、水環泵、油封機械泵、螺桿真空泵、濕式羅茨泵以及噴射泵、分子篩吸附泵等這些直排大氣型的真空泵都可以擔任,但依據被抽氣體的清潔程度、濕度及其他條件,需裝備除塵器、氣水油水分離器、枯燥阱等設備。2.中真空機組,適用于需求大抽速和獲得中真空的各種真空體系中,如鍍膜機、真空冶煉、真空熱處理及醫藥化工、電工焊接等職業。以往中真空機組由羅茨真空泵+油封機械泵、羅茨真空+水環真空泵以及雙羅茨真空泵這樣的組合居多。跟著螺桿真空泵這樣的無油真空泵的鼓起,羅茨真空泵+螺桿真空泵這樣的無油真空機組也逐步增多,適應性更廣。3.高真空機組,作業于分子流狀態下,作業壓力區間在10-2~10-6Pa,排量小、抽速大,一般情況下主泵由擴散泵、分子泵、鈦提高泵以及低溫冷凝泵等來承擔,因為它們無法直接在大氣下作業,因而必須裝備前級泵、...
2018 - 12 - 24
三葉羅茨真空泵與二葉羅茨真空泵性能對比:項目ITEM條件TESTING CONDITIONZJ300二葉羅茨真空泵ZJ300 Bi-lobe Roots vacuum pumpZJ300三葉羅茨真空泵ZJ300 Tri-lobe Roots vacuum pump抽氣性能Pumping performance同等轉速Equivalent speed電機轉次吸2次氣Two suctions and discharges in a turn電機轉一次吸3次氣Three suctions and discharges in a turn溫升Temperature rise同等壓差Equivalent pressure50-60C25-35C允許極限壓差Allowable limit pressure difference同等工況Equivalent working condition6000- 8000pa10000- 12000pa密封性能Sealing performance同等工作真空Equivalent working vacuum兩個密封點Two sealing points三個密封點Three sealing points壓縮比Compression ratio大氣壓下Atmospheric pressure5~68.5-9機械性能Mechanical performance...
2019 - 04 - 12
1、要觀察旋片真空泵軸即轉子軸設備前要判定它是不是彎曲、變形, 2、檢查旋片真空泵的轉子平衡狀況是不是符合標準, 3、檢查旋片真空泵的葉片與轉子之間的協作空地, 4、幾回額密封緩沖賠償安排的緊縮量是不是抵達需要, 5、旋片真空泵的泵浦轉子與軸承位的同心度是不是抵達需要, 6、旋片真空泵的軸承與端蓋之間的空地調整, 7、密封部位空地的調整, 8、聯軸器的同軸度是不是符合需要真空泵油在運用中的改變真空泵油在運用中受到了溫度、空氣、金屬催化、機械剪切、有害介質等的效果,其組成中的基礎油會發作氧化、裂化、聚合等反響,功能逐步變差。以上幾點就是深圳恒才陳工總結的對旋片真空泵組裝時需要注意的問題點,如有更多真空知識方面的咨詢,歡迎聯系陳工,與您一起探討!
2019 - 06 - 28
導熱油泵的抽空有兩個主要條件,即氣蝕引起的抽空和氣體侵入引起的抽空。在氣蝕的抽空條件下,只要輸送介質的工作壓力低于工作溫度下的飽和蒸汽壓力,它就會翻滾并構成排空,而不一定都是真空。典型的例如輕烴泵密封件被抽空。在氣體侵入的疏散條件下,氣體侵入主要有以下幾條路徑。一是內部氣體進入離心式熱油泵,如管道中收集的裂解氣。另一種是外部空氣進入離心機熱油泵,主要是一個減壓系統,空氣通過泵和管道的法蘭或壓蓋進入泵內;在這種情況下,泵可以構成負壓。但實際上,即使形成負壓,泵表面之間的壓差也不會超過1Kg/cm2(軸的直徑為Φ45~70mm)。考慮到抽空,大氣壓力可以作用在動靜環整個投影面積上,但是在具體計算之后,已知表中的壓力差不能大于彈簧力來推開密封表面。
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羅茨真空泵保養時間

日期: 2020-11-20
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  羅茨真空泵需要定期做清潔保養工作,可以有效延長它的使用壽命,降低故障發生率。但這個定期卻很少有人能正確把控。如何把控羅茨真空泵保養時間?

羅茨真空泵保養時間

  1、羅茨真空泵定期檢查,每日檢查的內容包括:

  ①油位檢查,油量過多會使溫度升高,油量過少會造成潤滑不 良;

  ②溫度檢查:用溫度計檢查泵各部位溫度;

  ③電動機負荷檢查:用功率表或電流,電壓表測量電動機負荷。

  2、羅茨真空泵的每月檢查:聯軸器及墊片是否損壞和松動。

  3、每3個月檢查:齒輪箱內潤滑油是否變質。

  4、每6個月檢查:前蓋軸承箱內潤滑油是否變質,活塞環及活塞環襯套是否磨損,齒輪微量程度的磨損對轉子正常運轉是否產生影響,是否需要調整等。


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深圳恒才新型真空引水機組是一款集高效引水、智能控制與強大過濾功能于一體的先進設備,以下從核心配置、性能優勢、應用場景及維護管理四個方面進行詳細介紹:一、核心配置:德國工藝與智能控制的融合德國SPECK水環真空泵高效穩定:采用德國SPECK品牌水環真空泵作為主泵,利用水作為工作介質,通過葉輪旋轉形成水環,實現氣體的吸入、壓縮和排放。其結構緊湊、運行平穩,適用于抽吸含水蒸氣、腐蝕性氣體或微小顆粒的混合氣體,滿足泥水、粉塵等復雜工況需求。耐腐蝕性強:泵體材質可選不銹鋼或特殊合金,適應不同水質和化學環境,延長設備使用壽命。低噪音設計:通過優化水環形成與氣體流動路徑,降低運行噪音,改善操作環境。西門子觸摸屏控制系統智能化操作:配備西門子觸摸屏,實現設備啟停、參數設置、狀態監控、故障報警等功能的集成化操作。用戶可通過界面直觀查看真空度、流量、溫度等關鍵參數,并一鍵調整運行模式(如手動/自動切換)。遠程管理:支持與上位機或云端平臺連接,實現遠程監控與數據分析,提升運維效率。安全保護:內置過載、過熱、缺相等多重保護功能,確保設備安全運行。二、性能優勢:快速引水與高效過濾的雙重保障1-3分鐘快速引水高效抽氣能力:水環真空泵在短時間內建立高真空度(通常可達-0.098MPa以上),迅速排除系統內空氣,形成負壓環境,實現快速引水。大流量設計:泵體流道優化,減少阻力損失,確保在引水過程中維持高流量,縮短引水時間。攪拌型過濾器配置直接過濾泥水混合物:過濾器內置攪拌裝置,通過旋轉葉片打散沉淀物,防止泥沙、粉塵等固體顆粒沉積堵塞,同時利用水環的剪切力將顆粒分散在水中,實現高效過濾。微粒狀固體過濾:濾網精度可根據需求定制(如50-200目),有效攔截沙石、微粒等雜質,避免其進入泵體或管道,保護設備免受磨損。排水便捷:過濾器設計有反沖洗功能或快速拆卸結構,可定期清理濾網或排出沉積物,維護簡單,降低停機時間。...
發布時間: 2025 - 07 - 23
高效抽氣能力:旋片真空泵通過轉子與旋片的協同運動,周期性改變泵腔容積,實現氣體的快速吸入與壓縮排放。其抽速范圍通常為0.5-150升/秒,單級泵極限壓力可達1帕,雙級泵更可低至6.5×10?²帕,能滿足電子晶圓吸附等工藝對真空度的嚴苛要求。結構緊湊設計:機組小車采用一體化撬裝結構,將泵體、電控系統、過濾器等部件集成于緊湊空間內,占地面積小,便于在實驗室或生產線靈活布局。其輕量化設計(如電機直聯驅動)進一步減輕了設備重量,提升了便攜性。移動靈活便捷:小車底部配備移動輪,支持快速搬遷與多工位切換,尤其適用于需要頻繁調整設備位置的晶圓加工場景。部分機型還支持手自動模式切換,確保在PLC損壞等緊急情況下仍能維持最低限度運行。運行穩定可靠:旋片真空泵通過油膜密封與強制進油潤滑設計,確保運動部件間的完美氣密性與恒定潤滑,同時減少有害空間對極限壓力的影響。其內置的自動防返油雙重保險裝置與金屬絲網粗過濾器,可有效防止油返入被抽系統與固體塵粒吸入泵腔,保障設備長期穩定運行。維護簡便經濟:機組小車結構簡單,維護成本低。用戶可通過定期檢查油位、更換真空泵油(首次工作滿150小時后換油,之后每500小時換油)與油過濾器、清潔進氣口濾網等常規操作,確保設備性能。其低成本、高性能的特點使其成為空間有限或預算敏感場景的理想選擇。安全防護完善:設備配備雙重密閉系統(充氣式電磁閥+機械止回閥)與排氣過渡器,可防止氣體倒流與油霧排放,避免晶圓污染或設備損壞。同時,其內置的吸氣閥可在停泵時自動隔離泵與被抽系統,防止油返入被抽系統,保障操作安全。適應性強:旋片真空泵機組小車可單獨使用,也可與其他高真空泵(如分子泵)組成真空機組,以應對不同工藝對真空度的差異化需求。例如,在晶圓鍵合工藝中,可先通過旋片泵快速抽至低真空,再切換至分子泵實現超高真空環境,提升工藝效率。經濟性高:機組小車采用無油設計(...
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