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2020 - 05 - 12
今天5月12日,春余夏首、夏花絢爛的日子,“深圳恒才機電設備有限公司”舉行了隆重的喬遷慶典;風雨兼程,勵精圖治,不斷創新,隨著進一步擴大,公司再次踏上了新的臺階?! ∝瓎⒑降奶柦且秧懫?丨  上午7點30分,各部門員工早早就來到了公司,現場熱火朝天有說有笑,會場布置井然有序,經過大伙的一番努力,公司正式入駐新辦公樓。會客區、會議廳、休息區歡聲笑語、人聲鼎沸、場面非常熱烈?! 」径麻L陳總致詞,對公司所有同事的辛勤付出表示感謝,并展望了公司喬遷新址之后的未來;各部門依次分別向陳總表示祝賀,大家熱情交流,一同見證了這美好的時刻?! ∵w至新辦公區,是深圳恒才公司戰略性發展的一次飛躍,隨著公司全面布局的完善,今年將進入一個更高速的發展時期。辦公區  深圳恒才的愿景是成為受人尊敬的流體服務型企業,讓客戶使用到最合適的流體系統?! 】唇癯?,我們躊躇滿志,展未來,我們豪情滿懷;在恒才公司喬遷之際,非常感謝長期以來對我們給予支持和肯定的廣大客戶及與我們長期合作的伙伴,愿我們共同進步,共同發展,共赴美好明天!
2019 - 10 - 22
水環真空泵是一種應用十分廣泛的真空泵,很多人想了解水環真空泵的原理和效率的問題,今天就給大家介紹一下.  水環真空泵的原理  水環真空泵主要用于粗抽和大抽的過程,并已廣泛用于化學,石油和輕工業領域?! ∷h真空泵具有結構簡單,易于制造,運行可靠,使用方便,經久耐用等優點,可以抽出腐蝕性氣體,含塵氣體和氣水混合物。待泵送氣體的溫度優選為20℃至40℃。  其中,水環真空泵是效率更高的雙作用水環真空泵。工作氣體溫度在-10°C到+40°C之間。水環真空泵廣泛用于各種工業領域,用于真空干燥和真空脫水。它特別適用于需要清潔和無油的真空泵工藝的真空系統,該工藝需要大量的水蒸氣溢出和洗煤廠和選礦廠的真空過濾。  除了水環真空泵外,油環真空泵也是液環真空泵的一種。它與水環真空泵之一不同之處在于,工作流體被變壓器油代替。除了密封以外,泵本身的結構與水環真空泵沒有太大區別。為了使油環真空泵在適當的溫度下工作,油環真空泵本身具有一個冷卻油箱(也稱為油分離器)。  水環真空泵是大中型機組中廣泛使用的冷凝器抽吸裝置。其功能是去除冷凝器中的非冷凝氣體,并確保并保持冷凝器真空。 水環真空泵的工作流體的入口溫度對真空度有很大影響。降低真空泵工作流體的溫度可以有效地提高水環真空泵的性能?! ‘敼ぷ魉髁浚肟诹?,吸入口溫度和轉速恒定且真空泵的工作水入口溫度高于設計水溫時,真空泵的吸入能力將相...
2019 - 11 - 05
如果您想更好地使用產品,則需要對其有一個全面的了解。 水環真空泵是相同的。接下來,我將介紹如何檢查水環真空泵的泄漏。您可以仔細閱讀了解它,并且使用該產品會有所幫助。  1.檢查冷凝器的蒸汽出口是否關閉且沒有泄漏?! ?.檢查低壓缸排氣裝置的安全門是否完整并且沒有吸氣?! ?.檢查水環真空泵的水位計是否損壞或泄漏。  4.檢查水環真空泵是否破壞了門并且沒有泄漏。  5.檢查低壓加熱器在負壓下的水位是否正常以及地漏門是否緊固。  6.檢查抽氣管與鋼瓶之間的真空連接是否泄漏。在此,當減少負荷時漏氣減少,并且在增加負荷后真空度稍微升高?! ?.檢查速度控制水環真空泵的重力回水是否通向冷凝器。如果回水量較小,則不能密封水封袋,應將水泵密封水返回到溝槽?! ?.檢查水環真空泵系統閥的水封,管,法蘭或焊接接頭是否緊固,尤其是膨脹水箱或鍋爐起動器分離器與冷凝器管和閥端口的連接是否緊密?! ∪绻敫玫厥褂卯a品,則需要對其有一個全面的了解。 水環真空泵是相同的。接下來,我們將介紹水環真空泵的間隙調節知識。您可以仔細閱讀以了解它,并且使用該產品會有所幫助?! ∷h真空泵的調節間隙沒有原理。所謂的間隙是轉子與泵壁之間的距離。該間隙是為了確保轉子的旋轉不會摩擦前壁和后壁。舊泵磨損,無法根據手冊的大小進行調整。調整間隙后,通過調整軸的位置使轉子運動,然后通過軸承和齒輪的定位使轉子無摩擦地工作?! ∷h真空...
2019 - 11 - 06
隨著現代工業的不斷發展,各種真空泵裝置的使用頻率變得越來越頻繁。 水環真空泵是使用最廣泛的泵送設備之一。但是,它在使用過程中常常引起返油,這也給企業的生產帶來一些麻煩。那么,有什么方法可以防止水環真空泵設備返油?  1、軸封河道的靜態密封件應牢固并及時更換?! ?、將燃油箱和排氣閥移至一側以減少油位并減少油量?! ?、 水環真空泵基座的平面應平坦,閥板應具有彈性?! ?、將水環真空泵排氣閥附近的油與其他油分開。油位僅略高于隔墻?! ?、在油孔中添加一根管,以便油位僅略高于進油口?! ?、設置水環真空泵的止返閥機構,使其在停止時自動關閉進油口?! ?、設置油泵和輔助機構,以在泵停止時切斷油路?! ?、 水環泵端口配有充氣閥。  以上是防止水環真空泵變油的方法。在實際應用中,返油現象會嚴重影響泵設備的使用壽命,增加故障率和維護成本,因此必須做好及時的預防。行。另外,在長時間使用或使用不當,維護不當的情況下,也容易出現返油現象,因此這兩個方面也應盡力做好。
2019 - 11 - 08
經常有客戶反應:真空泵在運行過程中常常出現自動跳閘的問題,遇到這種情況怎么處理呢?螺桿真空泵啟動困難的6大原因及排除方法你知道嗎?  真空泵跳閘原因主要有以下幾點  1.電機負載。真空泵電機負載,此時電流過高,如超過電控箱設置的電流時,真空泵會自行跳閘、脫閘,此時為真空泵的正?,F象,可跳高電流保護上限來解決跳閘現象?! ?.真空泵長時間停用,如果停用時間過長電機負載會導致暫時性電流過高,此時封閉真空泵進氣口運行使泵體加熱即可?! ?.真空泵電機接在兩相電源上,未啟動三相電源,可接通真空泵三相電源即可,如果運轉十小時左右還出現跳閘、脫閘等情況,還是調整電流上限即可?! ?.真空泵排氣口吸入異物或雜質,電機負載,可拆開真空泵檢查內部是否有故障等?! 〈笊窀嬖V你螺桿真空泵啟動困難的6大原因及排除方法  1、螺桿真空泵啟動前泵內未充滿介質或泵較長時間未啟動運轉?! ∨懦椒ǎ郝輻U真空泵吸入室內灌滿介質,并轉動泵軸?! ?、螺桿真空泵泵內介質凝固  排除方法:加熱螺桿真空泵,降低介質粘度?! ?、螺桿真空泵的橡膠定子與轉子配合過盈過大  排除方法:更換螺桿真空泵過盈適當的零件?! ?、螺桿真空泵的軸封填料壓得過緊  排除方法:調整螺桿真空泵填料壓蓋松緊。  5、螺桿真空泵輸入電壓過低  排除方法:調整螺桿真空泵電壓正常后啟動?! ?、螺桿真空泵啟動力矩過大  排除方法:檢查并調整螺桿真空泵的...
2019 - 11 - 11
水環真空泵的工作原理:      水環真空泵是一種粗真空泵,它所能獲得的極限真空受制于結構和工作環境,一般為 3~50 kPa 。水環真空泵主要由葉輪、泵體、圓盤(設有吸氣口、排氣口)等幾部分組成。葉輪偏心安裝在泵體中,當葉輪旋轉時,水被拋向泵體并形成與泵體同心的水環,水環和葉輪形成一個月牙形的空間。隨著葉輪的旋轉,葉輪輪轂、葉片和水環形成的空腔由小變大,通過吸氣口吸氣,再由大變小,通過排氣口排氣.  水環真空泵具有結構簡單、使用維修方便、氣體等溫壓縮、適宜抽吸和壓縮易燃易爆氣體、可抽除含塵、含水氣體等特點。  水環真空泵在化工、煤礦、制藥、輕工、造紙、冶金、石化、礦山、發電、食品以及廢氣的回收利用等行業中已成為最廣泛應用的真空獲得設備,特別是在航空、航天工業模擬試驗中,運行安全、穩定。目前,單臺水環真空泵機組的氣量達到70000 m3/h 以上,功率達到1700 kW 以上?! 〗陙?隨著國家對真空獲得設備需求的發展,水環真空泵正向大型化、成套化、高真空、大抽氣量方向發展。水環真空泵已發展成為成熟的、各行業發展所必需的通用設備,但目前有關水環真空泵(包括水環壓縮機)實際能效值的研究很少。為了能不斷地促進我國水環真空泵設備的技術進步,更好地貫徹落實國家節能減排的重大決策,推廣高效節能的真空泵產品。
2019 - 11 - 13
水環真空泵(稱為水環泵)是一種粗糙的真空泵,可以實現2000?4000Pa的極限真空度和270?670Pa的串聯大氣壓注射器。 水環泵也可用作壓縮機,稱為水環壓縮機,這是一種低壓壓縮機,壓力范圍為1至2 × 10 Pa表壓。 水環泵最初用作自吸泵,并逐漸用于許多工業部門,例如石油,化工,機械,采礦,輕工,醫藥和食品?! ∷h真空泵由葉輪,泵體,吸排氣板,形成在泵體內壁上的水水環,吸氣口,排氣口和輔助排氣閥組成?! 〕R姽收霞芭懦椒ā ?、真空泵不夠  可能的原因:電動機電源不足導致速度不足;供水不足;葉輪和分配板之間的間隙過大;機械密封損壞導致漏水;葉輪過度磨損;  處理:檢查電源電壓是否在電動機的額定電壓范圍內;增加供水量(必須控制在正確的范圍內,否則電動機將因熱量而過載);調整葉輪和分配板之間的間隙(通常為0.15-0.20 Mm);更換機械密封;更換葉輪;查看水口行?! ?、無法啟動或啟動噪音  可能的原因:電機電源電壓不足;電機異相;泵長時間使用不生銹。泵吸碎屑;葉輪拖動分配板?! √幚恚簷z查電源電壓是否過低;檢查電機接線是否牢固;如果長時間不使用泵,可以添加除銹劑或打開泵蓋以去除銹;打開泵蓋以清除碎屑;調整葉輪到配電盤的距離?! ?、電機過熱  可能的原因:電動機過載,電動機過載;電機異相;通風孔被堵塞;葉輪拖動其他組件?! √幚恚簩⒐┧繙p少到正常范圍(參見...
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2025 - 05 - 21
電子封裝過程中使用水環真空泵機組,主要基于其能夠滿足工藝對真空環境的嚴格要求、具備穩定可靠的性能、適應復雜工況的能力以及符合環保與安全標準等多方面優勢。以下為具體分析:一、滿足電子封裝工藝對真空環境的要求高真空度需求:電子封裝過程中,許多工藝步驟需要在高真空環境下進行,以確保封裝材料的純凈度和封裝質量。水環真空泵機組能夠提供穩定的真空環境,滿足電子封裝工藝對真空度的嚴格要求。低氣體殘留要求:在電子封裝中,任何微小的氣體殘留都可能對封裝性能產生嚴重影響。水環真空泵機組具有高效的抽氣能力,能夠迅速將封裝腔室內的氣體抽出,降低氣體殘留量,提高封裝質量。二、水環真空泵機組的性能優勢結構緊湊,占地面積?。核h真空泵機組通常設計緊湊,占地面積小,便于在電子封裝生產線上集成和安裝。運行穩定,維護方便:水環真空泵機組采用成熟的技術和可靠的設計,運行穩定,故障率低。同時,其維護也相對方便,降低了生產線的停機時間和維護成本。適應性強:水環真空泵機組能夠適應不同的工況和封裝材料,滿足電子封裝工藝的多樣化需求。三、水環真空泵機組在電子封裝中的具體應用封裝腔室抽真空:在電子封裝過程中,水環真空泵機組用于將封裝腔室內的氣體抽出,形成高真空環境,為后續的封裝工藝提供條件。氣體回收與處理:水環真空泵機組在抽氣過程中,能夠將抽出的氣體進行回收和處理,避免對環境造成污染。與其他設備協同工作:水環真空泵機組可以與其他電...
2018 - 05 - 23
雙級旋片真空泵工作原理:如圖所示,雙級旋片真空泵主要是由定子、轉子、旋片、彈簧、端蓋等部分組成。轉子偏心的安裝于泵體內表面相切(兩者間的有很小的間隙),轉子里開了個槽,槽內裝有旋片。當轉子旋轉時,旋片靠離心力和彈簧的張力使其頂端與定子內壁相接觸,沿定子內壁滑動。雙級旋片真空泵的詳細介紹:阿特拉斯GVD系列雙級油潤滑旋片真空泵以真空度高,抽速快和水蒸氣處理能力強而著稱。旋片式真空泵結構緊湊,無振動,運行平穩,應用于各種廣泛的真空領域。雙級旋片真空泵的應用行業:l  冰箱和空調系統抽真空、干燥和回填l  真空干燥和真空蒸餾l  作為高真空應用的前級泵l  真空冶金l  薄膜技術l  真空冷凍干燥l  變壓器和電纜干燥及浸漬、絕緣油處理l  低溫容器抽真空 雙級旋片真空泵技術參數:雙級旋片真空泵維護保養:1.       根據需要檢查油位,至少每月一次,2.       根據具體應用更換油,3-6個月,3.       每次更換油,檢測并清潔入口過濾器,4.     ...
2018 - 07 - 25
暑假期間,開車出去游玩都會很堵,像周六日出去海邊玩,車子堵起來會走走停停。那天出去玩,我發現一輛車很特別,一輛輕型商用車,這輛車不像一般輕卡車那樣不規則的怠速抖動,非常安靜。只聽到駕駛室里傳來悅耳的音樂,隔著顯眼的福耀玻璃,看到了輕卡車司機淡定的笑容。車子開始緩緩移動,這時我看到了車尾顯眼的 ——“比克純電動車”??破湛鹿I真空科普柯真空事業部北區出售團隊,在2018月剛與比克新能源轎車有限公司簽訂了兩臺阿特拉斯·高效變頻驅動噴油螺桿真空泵的出售合同。    作為我國最具發展潛力的自主新能源轎車出產企業之一,公司是以電動轎車動力體系集成技能為核心的新能源轎車研制、制作及出售的整車出產企業。公司致力于電動轎車的研制及技能創新,使用全球搶先的輕量化車身技能及其制作工藝、高效制動能量收回體系、安全節能電動空調體系、整車功能驗證、動力電池熱管理體系等產品及技能,用心打造符合我國及國際市場的電動轎車產品。  GHS VSD+螺桿真空泵可靠性與高效能完勝  鏡頭回到2016年的深秋,鄭州阿特拉斯·科普柯的授權代理商在慣例拜訪中發現鄭州比克工廠在注液工藝中運用的某國產品牌雙級旋片泵損壞率很高,該工藝需求的真空度為50-100mBarA。代理商在與阿特拉斯·科普柯北區出售經理咨詢、探討之后,引薦客戶運用阿特拉斯·科普柯GHS VSD+高效變頻驅動噴油螺桿真空...
2018 - 10 - 09
真空可分為4級:  粗真空 (RV):  1000 - 1 mbar  中真空 (MV):  1 - 10-3 mbar  高真空 (HV):  -3 - 10-7 mbar  超高真空 (UHV):  -7 mbar真空的度量單位:國際制單位:  mbar + Pa   1 mbar = 100 Pa = 1 hPa其它單位:  N/m²  1 N/m² = 1 Pa = 0,01 mbar  Torr  1 Torr = 1,33 mbar  mmHG  1 mmHG = 1 Torr = 1,33 mbar  Atmosphere  1 atm = 1013 mbar  Micron  1 μ = 0,001 Torr = 0,00133 mbar  PSI  1 psi = 0,069 bar         % Vacuum  1 % Vacuum = 10 mbar
2018 - 12 - 05
德國speck進口真空泵使用恒才100#真空泵油,具有適宜的化學穩定性和熱穩定性,耐水解,與密封材料的相容性很好。 進口真空泵油的性能要求:1.高溫下飽和蒸汽壓要低,易揮發成份要少。飽和蒸汽壓是真空泵油較關鍵的指標之一。在恒溫的密閉容器中,當汽液兩相到達動態均衡時的壓力稱謂飽和蒸汽壓。油品的飽和蒸汽壓要盡量低,在泵的最高工作溫度下,仍要具有足夠低的飽和蒸汽壓,并要低于真空泵規則的極限壓強。在60℃溫度條件下至少要到達6.5×10-5  kPa(因溫升每上升20℃,飽和蒸汽壓大約要下跌一個數量級)。 2.最低水含量和吸水性。極限全壓力:由皮拉尼計或熱偶真空計測出真空泵一切物質(氣體)產生壓強的總和。國外目前注重全壓強的測試指標。極限分壓力:用水銀緊縮式真空計(麥氏計)測得的泵的極限空氣分壓力,雙級旋片泵分壓力應為≤6×10-5 kPa。極限全壓力與極限分壓力差值請求不大于一個數量級。二者之間的差值越大,真空泵油中含有的揮發成分就越多,油品的性質就越差。 3.要有一定粘度,且隨溫度變化小(粘度溫升曲線平滑)。真空泵油需求具有適合的粘度,在低溫下能使真空泵疾速啟動,在高溫下真空泵油能具有良好的密封性,在泵內真空泵油具有較低的溫升。不含有輕質的易揮發組分,降低運用過程中真空泵的返油率。 4.潤滑性能好,機械應力...
2019 - 03 - 29
德國SPECK品牌高溫油泵常常應用到各個行業中,如塑料,造紙,CNC等等,那么高溫油泵在使用前后需要準備哪些工作呢?下面,深圳恒才機電張工總結了四大點高溫油泵在使用前后需要做的工作,我們一起來學習了解一下。一、在使用高溫油泵前要對熱載體爐進行清潔工作1、做好對熱載體爐房的清潔和衛生工作,高溫油泵應做到爐房內不得堆積雜物。2、加熱爐房應該保持良好的照明條件。3、要對除塵器以及出灰箱進行清灰處理,一般的高溫油泵每班應清灰二至三次。4、油、氣爐應該經常進行擦除燃燒表面的油污及其積灰,高溫油泵特別是立式的氣爐,頂部會因溫度較高,嚴禁放置一些易燃物品。5、要保持熱載體爐及其設備的外觀清潔度,高溫油泵要清除外部的積灰,這樣不僅可以給高溫油泵創造干凈衛生的環境,而且還更易于觀察設備運轉狀態,以及可以時發現設備的隱患。二、在使用前要對高溫油泵進行檢查工作1、檢查高溫油泵使用情況及其高位槽導熱油的溫度,要嚴禁超過70℃,這樣是為了防止結焦和泄漏。2、對高溫油泵本體及燃煤爐爐膛、爐排以及其附屬設備進行巡回檢查,要及時發現產生的問題,并要采取相對應的措施。3、燃煤加熱爐的爐膛不應該出現冒火和吸風現象。爐子高溫導熱齒輪油泵鋼結構狀態以及砌體和爐門應該完好,時刻保持爐膛嚴密性。3、檢查各項設備運轉情況,傳動情況應無雜聲響。燃煤爐排調速箱上煤機卷揚機械減速前潤滑油應充足渣機和引風機應充滿潤滑油,應于引風機冷卻...
2019 - 06 - 21
旋片式真空泵組裝的時候需要注意些什么呢,下面是深圳恒才張工為大家捋的8個要求,一起來了解一下吧!1、旋片式真空泵的電機轉子平衡現象是否符合規定,2、旋片式真空泵葉片與電機轉子之間的協作空地,3、旋片式真空泵的泵軸即電機轉子軸機器設備前,要判斷它是否變型、彎折了,4、真空泵泵浦電機轉子與軸承位的同軸度是否到達須要,5、真空泵軸承與軸承端蓋之間的空地調整,6、幾回額封密緩沖賠嘗布置的縮緊量是否到達須要,7、真空泵封密部件空地的調整,8、連軸器的同軸度是否符合須要,真空泵油在應用中的改變 真空泵油在應用中遭受了溫度、空氣、危害介質、機械設備剪切、金屬材料催化、等的效果,其構成中的基礎油會發作氧化、裂化、聚合等反響,功能逐漸變差。      真空泵的組裝也是非常重要的工程,可以在組裝前先看明介紹或電話咨詢真空泵廠家專業人員進行指導安裝。
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螺桿真空泵電機拆卸方法

日期: 2020-11-05
來源:
瀏覽次數: 115

  當螺桿真空泵在使用時,它的溫度會不斷上升,這可能會超過電機溫度屏障。造成這種現象的原因有很多。這里需要一點一點分析。我們來介紹一下螺桿真空泵電機拆卸方法:

螺桿真空泵電機拆卸方法

  1.拆卸前測量并記錄轉子的所有局部間隙,盡量不要用重錘敲擊。妥善保管拆下的零件,避免碰撞。

  2.停止詳細記錄要更換零件的更換原因和應用狀態。

  3.再次拆卸前,清潔所有零件并磨平毛刺。

  4.無墊片襯或密封圈的靜密封面用無機硅橡膠涂層處理,然后根據間隙表調整轉子的局部間隙。

  5.拆卸后需要完全安裝,但應停止檢漏,重裝后應及時停止試運轉和功能試驗,正常后方可開始安裝和使用。

  如有問題,螺桿真空泵應立即關閉,切斷電源并拆卸,以保護人身和設備安全。拆卸時要按照正確的方法合理控制,減少溫度過高帶來的風險。請先咨詢專業技術人員。


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發布時間: 2025 - 08 - 21
深圳恒才新型真空引水機組是一款集高效引水、智能控制與強大過濾功能于一體的先進設備,以下從核心配置、性能優勢、應用場景及維護管理四個方面進行詳細介紹:一、核心配置:德國工藝與智能控制的融合德國SPECK水環真空泵高效穩定:采用德國SPECK品牌水環真空泵作為主泵,利用水作為工作介質,通過葉輪旋轉形成水環,實現氣體的吸入、壓縮和排放。其結構緊湊、運行平穩,適用于抽吸含水蒸氣、腐蝕性氣體或微小顆粒的混合氣體,滿足泥水、粉塵等復雜工況需求。耐腐蝕性強:泵體材質可選不銹鋼或特殊合金,適應不同水質和化學環境,延長設備使用壽命。低噪音設計:通過優化水環形成與氣體流動路徑,降低運行噪音,改善操作環境。西門子觸摸屏控制系統智能化操作:配備西門子觸摸屏,實現設備啟停、參數設置、狀態監控、故障報警等功能的集成化操作。用戶可通過界面直觀查看真空度、流量、溫度等關鍵參數,并一鍵調整運行模式(如手動/自動切換)。遠程管理:支持與上位機或云端平臺連接,實現遠程監控與數據分析,提升運維效率。安全保護:內置過載、過熱、缺相等多重保護功能,確保設備安全運行。二、性能優勢:快速引水與高效過濾的雙重保障1-3分鐘快速引水高效抽氣能力:水環真空泵在短時間內建立高真空度(通常可達-0.098MPa以上),迅速排除系統內空氣,形成負壓環境,實現快速引水。大流量設計:泵體流道優化,減少阻力損失,確保在引水過程中維持高流量,縮短引水時間。攪拌型過濾器配置直接過濾泥水混合物:過濾器內置攪拌裝置,通過旋轉葉片打散沉淀物,防止泥沙、粉塵等固體顆粒沉積堵塞,同時利用水環的剪切力將顆粒分散在水中,實現高效過濾。微粒狀固體過濾:濾網精度可根據需求定制(如50-200目),有效攔截沙石、微粒等雜質,避免其進入泵體或管道,保護設備免受磨損。排水便捷:過濾器設計有反沖洗功能或快速拆卸結構,可定期清理濾網或排出沉積物,維護簡單,降低停機時間。...
發布時間: 2025 - 07 - 23
高效抽氣能力:旋片真空泵通過轉子與旋片的協同運動,周期性改變泵腔容積,實現氣體的快速吸入與壓縮排放。其抽速范圍通常為0.5-150升/秒,單級泵極限壓力可達1帕,雙級泵更可低至6.5×10?²帕,能滿足電子晶圓吸附等工藝對真空度的嚴苛要求。結構緊湊設計:機組小車采用一體化撬裝結構,將泵體、電控系統、過濾器等部件集成于緊湊空間內,占地面積小,便于在實驗室或生產線靈活布局。其輕量化設計(如電機直聯驅動)進一步減輕了設備重量,提升了便攜性。移動靈活便捷:小車底部配備移動輪,支持快速搬遷與多工位切換,尤其適用于需要頻繁調整設備位置的晶圓加工場景。部分機型還支持手自動模式切換,確保在PLC損壞等緊急情況下仍能維持最低限度運行。運行穩定可靠:旋片真空泵通過油膜密封與強制進油潤滑設計,確保運動部件間的完美氣密性與恒定潤滑,同時減少有害空間對極限壓力的影響。其內置的自動防返油雙重保險裝置與金屬絲網粗過濾器,可有效防止油返入被抽系統與固體塵粒吸入泵腔,保障設備長期穩定運行。維護簡便經濟:機組小車結構簡單,維護成本低。用戶可通過定期檢查油位、更換真空泵油(首次工作滿150小時后換油,之后每500小時換油)與油過濾器、清潔進氣口濾網等常規操作,確保設備性能。其低成本、高性能的特點使其成為空間有限或預算敏感場景的理想選擇。安全防護完善:設備配備雙重密閉系統(充氣式電磁閥+機械止回閥)與排氣過渡器,可防止氣體倒流與油霧排放,避免晶圓污染或設備損壞。同時,其內置的吸氣閥可在停泵時自動隔離泵與被抽系統,防止油返入被抽系統,保障操作安全。適應性強:旋片真空泵機組小車可單獨使用,也可與其他高真空泵(如分子泵)組成真空機組,以應對不同工藝對真空度的差異化需求。例如,在晶圓鍵合工藝中,可先通過旋片泵快速抽至低真空,再切換至分子泵實現超高真空環境,提升工藝效率。經濟性高:機組小車采用無油設計(...
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