真空泵對真空等離子清洗機的真空度、抽真空時間以及整個設備的處理效果有著重要的影響，因此選擇合適的真空泵對真空等離子清洗機的質量至關重要。真空等離子清洗機中常用的真空泵有兩種，即油式真空泵和干真空泵。今天，我們將介紹等離子清洗機用真空泵的類型和特點，以及選擇真空泵時的注意事項。
油式真空泵
油式真空泵是用油密封、潤滑和冷卻的真空泵的總稱。真空等離子清洗機中最常用的油式真空泵之一是旋片真空泵。
旋片真空泵
旋片真空泵是一種油封式機械真空泵，其主要部件包括泵體、轉子，旋片、端蓋、彈簧等。旋片真空泵有兩種類型：單級和雙級。雙級旋葉真空泵是等離子清洗機中常用的設備。所謂的雙級旋片真空泵在結構上串聯兩個單級泵。
旋片真空泵的泵腔內偏心安裝有轉子，轉子的外圓與泵腔的內表面相切。同時，兩個帶彈簧的旋片安裝在轉子槽中。當轉子旋轉時，旋片的頂端通過離心力和彈簧力與泵腔內壁保持接觸，轉子的旋轉帶動旋片沿泵腔內壁滑動。旋片真空泵使用兩個旋片將泵腔分成三部分。由于轉子是偏心安裝的，三個部分的空間會隨著轉子，的旋轉而變化，壓差被用來達到抽氣的目的。
旋片真空泵主要用于小腔體(80L以下)或真空等離子清洗機中真空泵機組的前級泵。
旋片真空泵具有以下優點：
一、旋片真空泵在抽出空腔內的干燥氣體的同時，可以抽出一定量的可冷凝氣體和氣水混合物;
二、結構相對簡單，維護方便;
三、是體積小，重量輕，便于安裝和移動;
第四，振動小，噪音低;
第五，價格相對較低。
干式真空泵
干式真空泵是無油干式機械真空泵的簡稱。干式真空泵是一種不使用油、水或其他聚合物等流體作為工作介質的真空泵。這使得干式真空泵的清潔度更好，并防止油污染。因此，干式真空泵主要用于對潔凈度要求較高的真空等離子清洗機，如半導體領域、生物醫學領域和航空航天領域。真空等離子清洗機上最常用的干式真空泵之一是干式螺桿真空泵。
干式螺桿真空泵
干式螺桿真空泵是一種真空泵，它利用一對螺桿在真空泵殼體內高速同步反向旋轉，從而產生作用力，實現抽吸和排氣的功能。由于干式螺桿真空泵相互之間沒有摩擦，運行平穩，噪音低，所以工作腔內不需要潤滑油。干式螺桿真空泵是一種性能優異的干式真空泵，與其他真空泵相比有很多優點：
第一，干式螺桿真空泵的極限真空度很高，最高極限真空可達到1-2Pa;
第二，干式螺桿真空泵性能穩定，噪音低，故障率低，維護簡單;
第三，干式螺桿真空泵的一種工作腔和螺桿轉子表面均有防腐涂層，可適應惡劣工況。