真空泵的主要參數有:

　　(1)抽氣速率.當泵裝有標準實驗罩并按規定條件工作時，從實驗罩流過的氣體流量與在實驗驗罩上指定位置側得的平衡壓力之比，簡稱抽速，單位為m3/a或L/s.

　　(2)抽氣量.流經泵入口的氣體流里.單位為Pa.m3/s或Pa.L/s.

　　(3)極限壓力。泵裝有標準實驗罩并按規定條件工作時，在不引入氣體正常工作的水環真空泵情況下，趨向穩定的最低壓力，單位為Pa.

　　(4)啟動壓力。泵無損壞啟動并有抽氣作用時的壓力，Pa.

　　(5)前級壓力。排氣壓力低于一個大氣壓力的真空泵的出口壓力.單位為Pa.

　　(6)最大前級壓力.超過此值泵將不能正常工作的壓力稱最大前級壓力，單位為Pa.

　　(7)最大工作壓力。對應最大抽氣且的入口壓力.此壓力下泵能連續工作而旋片真空泵不惡化或損壞.

　　工藝要求達到的真空度

　　真空泵的工作壓力應該滿足工藝工作壓力要求，選型時真空度要高于真空設備真空度的半個到一個數量級。(如：真空工藝要求100pa(絕對壓力)的真空度，選用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求絕對壓強高于3300Pa，則優先選擇水環式真空泵作為真空裝置，如果絕對壓強要求低于3300Pa羅茨真空泵，則不能選擇水環式真空泵，選擇旋片式真空泵或更高真空級別的真空泵作為真空獲得裝置。

　　工藝要求的抽氣量(抽氣速率)

　　真空泵要求抽氣速率(也就是要求真空泵在其工作壓力下，排出氣體、液體，固體的能力)，一般單位：m3/h，L/S,m3/min。具體計算方法可以參考下面公式自行計算選型。當然，真空泵的選型是一個綜合過程，涉及到相關經驗等因素。

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