當旋片真空泵的安裝高度增加時，旋片真空泵內的壓力就會降低，泵壓力的最低點一般位于葉輪葉片入口的后點附近。
這里的壓力在輸送液體的溫度下下降到飽和蒸汽壓力后沸騰，隨著液體從入口向外周流動，壓力急劇上升，產生的蒸汽泡急速凝結。
這種液體以較大的速度從氣泡周邊流入氣泡中心，引起高頻的過渡壓力，稱為氣穴。
1.在選定基準平面的轉子真空泵的情況下，基準平面是真空泵的軸中心線，在往復式真空泵的情況下，基準平面是柱塞中心線。
2.對容積式真空泵進行計算，該裝置的NPSH與旋翼真空泵的NPSHa的計算方法相同。
在容積式往復式真空泵中，該裝置的NPSH也應包含在加速壓子Hacd中。 使頭損失加速的原因是吸入管流動的不均勻性。
如果吸入緩沖罐安裝在吸入道路上，則不計算加速頭的損失。 Hacc可以用公式計算： Hacc可按公式計算：Hacc=Lp1LN2D2ρ/109K1D2P1
公式中LP1-----吸入管道實際長度，m;
L-----行程，mm;
N----泵往復次數，r/min;
D----活塞或柱塞直徑，mm;
ρ----液體密度，Kg/m3
K1----系數，單.雙缸泵K1=1.5;三缸泵，K1=4;
DP1----吸入管道直徑，mm
3.汽蝕的危害性汽蝕對旋片真空泵造成危害性：
1.噪音和振動
2.性能降低
3.過流部件的腐蝕破壞
汽蝕對容積式真空泵的危害性：
1.噪音和振動
2.性能降低
3.一般不發生腐蝕破壞