螺桿真空泵是容積式真空泵的新成員，出現(xiàn)于上世紀(jì)90年代前后，發(fā)展緩慢。 但是，作為理想的干式泵，螺桿真空泵問(wèn)世后，得到了迅速的發(fā)展。 現(xiàn)在就來(lái)理解一下小編和基本知識(shí)吧!

　　一、螺桿真空泵特點(diǎn)

　　螺桿真空泵起源于螺桿式壓縮機(jī)和螺桿式液體輸送泵，是容積式真空泵中理想的干式真空泵。 由于能夠清潔無(wú)油真空環(huán)境，對(duì)含有腐蝕性氣體、凝縮性蒸汽、粉塵粒子的氣體有很強(qiáng)的適應(yīng)性，在電子半導(dǎo)體、制藥、石油化學(xué)等清潔真空環(huán)境的要求嚴(yán)格、氣體成分復(fù)雜的行業(yè)中，螺桿真空泵受到歡迎，是傳統(tǒng)的油封機(jī)械泵、液體環(huán)泵的模型

　　螺桿真空泵通過(guò)一對(duì)非對(duì)稱(chēng)螺桿轉(zhuǎn)子的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，周期性地改變齒間容積來(lái)輸送氣體，實(shí)現(xiàn)抽出的目的。 這些特征包括：

　　1、清潔無(wú)油，多相混輸，適應(yīng)性廣。 螺桿真空泵轉(zhuǎn)子之間有嚴(yán)格的間隙，泵室內(nèi)無(wú)油，能吸入腐蝕性氣體、有毒及粉塵、凝結(jié)性蒸汽等復(fù)雜氣體。

　　2、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，動(dòng)平衡好，可靠性高。 螺桿真空泵零件少，核心零件沒(méi)有易損件，沒(méi)有不平衡慣性力，運(yùn)轉(zhuǎn)可靠，壽命長(zhǎng)。

　　3 .結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，零件少，操作、維護(hù)簡(jiǎn)單。

　　4、強(qiáng)制輸送空氣，能在大壓力范圍內(nèi)保證大的吸引速度，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響。

　　二、螺桿真空泵的結(jié)構(gòu)

　　螺桿真空泵一般為雙軸結(jié)構(gòu)。 螺桿真空泵是經(jīng)由一對(duì)非對(duì)稱(chēng)螺桿轉(zhuǎn)子在泵室同步、高速反轉(zhuǎn)，使齒間容積周期性地變化而產(chǎn)生進(jìn)氣和排氣作用的排氣設(shè)備。

　　其主要結(jié)構(gòu)有螺桿轉(zhuǎn)子、軸承、泵體、密封件等。 螺桿轉(zhuǎn)子經(jīng)精密動(dòng)平衡校正，支承在軸承上，安裝在泵室，螺桿與螺桿之間保持著嚴(yán)格的一定間隙。 泵工作時(shí)，彼此沒(méi)有摩擦，工作順利，噪音低，室內(nèi)不需要潤(rùn)滑油。 因此，螺桿真空泵在能夠吸引含有大量水蒸氣和粉塵的氣體的情況下具有極限真空高、功耗低、節(jié)能、免維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)。

　　螺桿真空泵主要結(jié)構(gòu)

　　從上圖可以看出，螺桿真空泵在結(jié)構(gòu)上很簡(jiǎn)單。 形式上，根據(jù)螺桿真空泵有臥式和立式區(qū)別的螺桿轉(zhuǎn)子型生產(chǎn)線，分為單頭螺桿真空泵和多頭螺桿真空泵。單頭螺桿真空泵根據(jù)轉(zhuǎn)子的間距，等間距螺桿。

　　多頭型線可以在一個(gè)導(dǎo)線內(nèi)完成進(jìn)氣、壓縮、排氣的過(guò)程，導(dǎo)線少，能有效減少泵的體積和重量，適用于大吸引速度區(qū)域，但其型線復(fù)雜，需要特殊工具和專(zhuān)用機(jī)床，加工費(fèi)用高，而且由于三角泄漏的原因，真空度不高，所以在市場(chǎng)上

　　單頭型生產(chǎn)線適用于小型螺桿真空泵，市場(chǎng)上單頭式真空泵也很多。 其中等間距螺桿真空泵室內(nèi)沒(méi)有壓縮，可以簡(jiǎn)單地排出固體粒子和凝縮性氣體，但排氣溫度和能量消耗度高的可變間距螺桿真空泵室內(nèi)有壓縮，排氣溫度低，能量消耗低，但對(duì)粉塵粒子和凝縮性氣體的耐性等間距差。

　　三、螺桿真空泵的工作原理

　　由于是由螺桿式壓縮機(jī)產(chǎn)生的，所以螺桿真空泵的工作原理也與螺桿式壓縮機(jī)相似。 我們用近似的多線描述。

　　1 .進(jìn)氣過(guò)程

　　a .進(jìn)氣過(guò)程開(kāi)始

　　b .進(jìn)氣中

　　c .進(jìn)氣過(guò)程結(jié)束

　　2 .壓縮過(guò)程

　　a .壓縮過(guò)程開(kāi)始

　　b .正在壓縮

　　c .壓縮過(guò)程結(jié)束排氣開(kāi)始

　　3 .排氣過(guò)程

　　a、排氣中b、排氣中結(jié)束

　　螺桿真空泵的排氣過(guò)程。 齒間容積與排氣口連通后，排氣過(guò)程開(kāi)始。 隨著齒間容積的縮小，有排氣壓力的氣體通過(guò)排氣口排出。

　　四、螺桿真空泵的應(yīng)用

　　螺桿真空泵不僅適應(yīng)性寬，而且能在苛刻的條件下排氣，同時(shí)能實(shí)現(xiàn)高真空度(0.1~1Pa )。 因此，隨著半導(dǎo)體、石油化學(xué)行業(yè)的迅速發(fā)展，螺桿真空泵作為理想的干式泵開(kāi)始廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體、醫(yī)藥化學(xué)工業(yè)領(lǐng)域，如半導(dǎo)體行業(yè)的蒸鍍、蝕刻、醫(yī)藥化學(xué)工業(yè)行業(yè)的蒸餾干燥、中間體、溶劑回收、石油氣回收等。

　　由于型線技術(shù)和加工成本，螺桿真空泵廠家的購(gòu)買(mǎi)費(fèi)用比較高，但從長(zhǎng)期來(lái)看，其寬度適應(yīng)、高效節(jié)能環(huán)保特性和低故障修理率，在運(yùn)行周期內(nèi)能給企業(yè)帶來(lái)較高的綜合利益和社會(huì)環(huán)境利益，使用的更廣泛性是未來(lái)的趨勢(shì)。