真空系統就是指由機械泵、真空計及各種各樣零件根據管路以適度的方法連接，組成能做到一定真空度規定的設備。真空系統的基礎規定是都有哪些?
1.在被抽器件或工作中房間內得到需要的極限真空泵和工作中真空度。
極限真空度就是指器件在無漏放氣時所做到的真空度,工作中真空度就是指在器件開展真空泵解決時能夠保持的真空度。真空泵解決時通常要釋放很多汽體，這時候的工作中真空度將明顯地小于極限真空度。極限真空度和工作中真空度都有其必要性，他們從不一樣側邊對器件品質造成危害。比如再用金屬氧化物負極器件的排氣管真空系統中，電10-2極除氣和負極溶解會很多排氣，假如工作中真空度差，則將會出現電級被氧化及負極激話較差的結果。但器件最終封離時已大部分無漏放氣，器件內的真空度就在于排氣管真空系統的極限真空度。
2.為得到某一工作中真空度需要的時間
這時間決策于真空系統抽速的尺寸。提升抽速可減少這一時間。大的個人工作室顯而易見必須大的抽速。有時候個人工作室盡管并不大，但因為漏放氣比較嚴重，則真空系統也必須大的抽速，不然很多的漏放氣將大幅度降低真空度，使系統軟件沒法工作中。
3.在被抽器件或工作中房間內有適合的殘氣成份
實踐經驗，單純性提升和確保極限真空度及工作中真空度是不足的，還解決殘留汽體成份有一定的規定。比如真空泵拍攝器件，以便維持在一年使用壽命期限內敏感度的減少不超巧，規定器件內的殘留汽體的氧氣含量應不高過10-2Pa耐髙壓的真空開關管中，應不帶有氮氧化合物分子結構這些。真空系統的殘氣成份，如系統軟件中無其他氣動閥門，則關鍵在于泵的特點。
4.真空系統還務必構造簡易、特性靠譜、實際操作維護保養便捷、價格低等
要考慮這種規定，務必從泵的挑選、管路規格的明確及布局、機械加工工藝等各個方面綜合性考慮到。所述這種基礎規定常常是互相聯絡的。比如，因為真空系統總免不了存有有稍微的漏狀況，故選用抽速大的泵比抽速小的泵能得到不錯的工作中真空度，但大的泵價錢貴，耗水量、耗電量多，故有有效挑選的難題。儀器設備和中小型的真空系統宜采用微型真空泵，低成本、高效率、噪聲小，有的客戶采用總流量很大的工業生產機械泵是不適合的。
5.自動化技術規定
伴隨著電子信息技術的發展趨勢，客戶對真空系統的自動化技術規定也持續提高。針對真空系統，自動控制系統主要是對機械泵總流量和真空度的調整。真空度經常根據調整機械泵總流量、安裝溢流閥、減壓閥來操縱。用節流閥的方法動能損害大、造成附加噪聲，最好立即調整機械泵的轉速比。工業生產機械泵調速的方式
有多種多樣，關鍵分成兩大類：第一類是電機轉速比不會改變，根據額外設備更改機械泵的轉速比，如變速器調速，第二類是立即更改電機的轉速比，如晶閘管串級調速、直流變頻調速等。現階段工業生產機械泵常見的方式
是直流變頻調速，環保節能好用，可保持無極調速，調速比大，調速精準，速率穩定。
針對適用中小型真空系統的微型真空泵，以往關鍵選用降血壓調速，降血壓運作附加的益處是有益于增加泵和電機使用壽命。假如泵的負荷很大時，降血壓后非常容易導致電機無法啟動，使電機溫度升高，造成安全風險。現階段最優秀的國內“氣海穴”調速微型真空泵配備了進口無直流電電機，內置PWM(脈沖寬度調制)線，能便捷靠譜地調整總流量，能輸出電機轉速比意見反饋數據信號(FG)，能實時監控系統電機工作狀況，更有利于自動控制系統。還具備健全的防范意識作用，在泵卡住、超溫等出現意外狀況下會全自動關機。調速微型真空泵是中小型真空系統自動化技術的理想化之選。
總體而言，針對密封性不錯的真空系統，要是沒有習慣性的放空氣，內部都沒有蒸汽源，則可選用較小的、極限真空度不錯的泵。可是，假如系統軟件的漏放氣較多，則務必用提升抽速的方法來確保其工作中真空度，這時候應選用很大抽速的泵，并盡量擴大管路流導，即采用短而粗的管路。