1.真空:在真空科學(xué)中，真空指的是給定空間內(nèi)低于大氣壓的氣體狀態(tài)。人們通常稱這種稀薄氣體狀態(tài)為真空狀態(tài)。
2.真空度:顧名思義，真空度就是真空度。真空下氣體的厚度通常表示為“高真空”和“低真空”。高真空意味著“好”，低真空意味著“差”。所謂的“真空”是指在給定空間內(nèi)壓力低于101325百帕(即大約1013百帕的標(biāo)準(zhǔn)大氣壓)的氣體狀態(tài)。在真空狀態(tài)下，氣體的稀薄程度通常用氣體的壓力值來(lái)表示。顯然，壓力值越小，氣體越稀薄。
3.真空泵極限壓力:真空泵能達(dá)到的最低壓力。
4.極度真空:真空容器在充分抽氣后穩(wěn)定在一定的真空度。這種真空度被稱為極度真空。通常真空容器需要12小時(shí)的氣體精煉，然后抽真空12小時(shí)，最后一小時(shí)每10分鐘測(cè)量一次，取10次的平均值作為極限真空值。
5.大氣壓力:地球表面周圍厚厚的一層大氣對(duì)地球表面或表面物體施加的壓力稱為大氣壓力。
6.標(biāo)準(zhǔn)大氣壓力:指標(biāo)準(zhǔn)大氣條件下海平面的大氣壓力。1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓=760毫微克=101325帕
7.絕對(duì)壓力和相對(duì)壓力:直接作用在容器或物體表面的壓力稱為絕對(duì)壓力，絕對(duì)壓力值以絕對(duì)真空為起點(diǎn)。用壓力計(jì)、真空計(jì)、U形管和其他儀器測(cè)量的壓力稱為表壓或相對(duì)壓力。
8.標(biāo)準(zhǔn)條件:通常指溫度為0℃，壓力為101325帕(1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，760毫米汞柱)的條件。以便在比較氣體體積時(shí)有一個(gè)統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)。除非另有說(shuō)明，氣體的密度是指在標(biāo)準(zhǔn)條件下所說(shuō)的密度。
9.泵送速率:在一定的壓力和溫度下，單位時(shí)間內(nèi)從泵入口泵出的氣體量稱為泵送速率。泵速的簡(jiǎn)稱。
10.主泵:在真空系統(tǒng)中，用來(lái)獲得所需真空度以滿足特定工藝要求的真空泵。
11.前級(jí)泵:一種真空泵，用于保持某一真空泵的前級(jí)壓力低于其臨界前級(jí)壓力。例如，安裝在羅茨真空機(jī)組羅茨真空泵前面的旋葉泵或液環(huán)泵就是前級(jí)泵。
12.真空計(jì):用來(lái)測(cè)量真空的儀器。
13.真空系統(tǒng):是由真空泵、真空計(jì)、真空容器和真空閥、冷阱等部件組成的抽氣裝置。根據(jù)一定的要求，通過(guò)真空管道，具有所需的抽氣功能。它的功能是在指定的時(shí)間和空間內(nèi)獲得真空，保持真空，并保證系統(tǒng)中某一工藝過(guò)程或物理過(guò)程的實(shí)施。
14.飽和蒸汽:當(dāng)液體在有限的空間內(nèi)蒸發(fā)時(shí)，液體分子通過(guò)液面上方的空間進(jìn)入變成蒸汽分子。因?yàn)檎羝肿犹幱谕牧鳠徇\(yùn)動(dòng)中，它們相互碰撞，并與容器壁和液體表面碰撞。當(dāng)與液體表面碰撞時(shí)，一些分子被液體分子吸引并返回到液體中成為液體分子。在蒸發(fā)開(kāi)始時(shí)，進(jìn)入空間中的分子數(shù)量多于返回液體中的分子數(shù)量。隨著蒸發(fā)的繼續(xù)，空間中蒸汽分子的密度不斷增加，因此返回液體中的分子數(shù)量也增加。當(dāng)單位時(shí)間內(nèi)空間中的分子數(shù)進(jìn)入等于返回液體中的分子數(shù)時(shí)，蒸發(fā)和冷凝處于動(dòng)態(tài)平衡狀態(tài)。此時(shí)，雖然蒸發(fā)和冷凝仍在進(jìn)行，但空間中蒸汽分子的密度不再增加，此時(shí)的狀態(tài)稱為飽和狀態(tài)。處于飽和狀態(tài)的液體稱為飽和液體，其相應(yīng)的蒸汽是飽和蒸汽，但最初只是濕飽和蒸汽，只有在蒸汽中的水分完全蒸發(fā)后才是干飽和蒸汽。蒸汽從不飽和到濕飽和再到干飽和的過(guò)程溫度不會(huì)增加。如果蒸汽在干飽和后繼續(xù)加熱，溫度將上升并變成過(guò)熱蒸汽。
15.飽和蒸汽壓:蒸氣壓指的是在液體(或者固體)的表面存在著該物質(zhì)的蒸氣，這些蒸氣對(duì)液體表面產(chǎn)生的壓強(qiáng)就是該液體的蒸氣壓。
比如，水的表面就有水蒸氣壓，當(dāng)水的蒸氣壓達(dá)到水面上的氣體總壓的時(shí)候，水就沸騰。我們通常看到水燒開(kāi)，就是在100攝氏度時(shí)水的蒸氣壓等于一個(gè)大氣壓。蒸氣壓隨溫度變化而變化，溫度越高，蒸氣壓越大，當(dāng)然還和液體種類有關(guān)。一定的溫度下，與同種物質(zhì)的液態(tài)(或固態(tài))處于平衡狀態(tài)的蒸氣所產(chǎn)生的壓強(qiáng)叫飽和蒸氣壓，它隨溫度升高而增加。