許多工廠都增加了真空泵系統，但我們不知道如何操作真空系統檢漏。今天我們將介紹定義和方法。
一、泄漏率的定義和單位
對于容積為v的容器，單位時間內壓力變化δP與容器容積v的乘積為泄漏率:
q=V *δP/δt
常見的泄漏速率單位為: pa.m/s、mbar.l/s、torr.l/s
泄漏率實際上反映了一定時間內泄漏氣體分子的數量。嚴格地說，一個沒有泄漏的系統不是
有。泄漏檢測的目的是將泄漏率控制在可接受的水平，而不影響系統的正常運行。
幾種真空系統泄漏檢測方法及應用
(1)氣泡法檢漏
將壓制好的試件浸入水箱中或使用肥皂泡法。氣泡可以反映泄漏率。這種方法通常用于檢測一些小物品。例如，工藝氣瓶泄漏檢測、配氣盤泄漏檢測、磁控靶泄漏檢測、弧源水冷座泄漏檢測、真空室水冷套泄漏檢測等。雖然不能定量檢測泄漏率的大小，但確定是否存在泄漏，是一種非常簡單有效的泄漏檢測方法。
(2)壓降法檢漏
增加正壓或將試件抽真空至一定壓力，然后關閉閥門，通過真空計觀察單位時間內的壓力變化。真空壓降法可用于評估泄漏率。泄漏檢測是一項非常重要的技術指標，可以作為設備驗收的標準。
(3)氣體檢測法檢漏
氣體檢測方法可分為:氨檢漏法、鹵素檢漏法和氦質譜檢漏法，其中氦質譜檢漏法是最常用和最常見的。與其他氣體相比，氦有許多優點，例如:不可燃、無毒、價格合適、非常輕、化學性質惰性、氣體分子小等。
使用檢漏儀:的注意事項
掌握適當的噴射時間。
泄漏檢測的順序。從上到下，從遠到近吹。
使用前需要校準。